中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377213 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、半導体製造の複雑なプロセスを処理するために設計された先進的な原子炉装置です。このシステムは、MEMS、薄膜、およびMEMSのさまざまなアプリケーションに適応できる単一のプラットフォームを提供します。プラズマエッチング、熱アニール、カプセル化、沈着、酸化など、複数のプロセスに対応できるユニバーサルチャンバー設計を特徴としています。このユニットは、マルチガス源と超低圧力動作範囲と高温製造プロセスによって駆動されます。AMAT Centura DPS IIリアクタには、機械監視、レシピ制御、リモートアクセス機能を備えたタッチスクリーンHMIが含まれています。また、高圧パルスRFプラズマ源を備えており、非常に低い圧力でのプロセスを可能にします。プロセスパラメータと可変マルチチャネルガス配送を正確に制御し、プロセスパラメータの厳密な制御とインダクタンス制御の広範囲の変化を可能にします。さらに、APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+IIには、プロセス監視用のセンサ技術と、プロセス再現性を繰り返す高度なハードウェアが含まれています。このツールは、最大3つのガス源を同時に変更してサイクルタイムを短縮できるタイムセーバー機能も備えています。アセット全体は、精密で再現性が高く信頼性の高い動作を目的として設計されており、最先端の真空システムと互換性があります。Centura DPS IIリアクターは、半導体産業の高度な研究ニーズに信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。プロセスの再現性と歩留まりを維持しながら、高品質なプロセス結果を提供します。その特徴は、効率的なプロセス制御、歩留まりの改善、および高品質の製品を可能にします。このモデルは、半導体部品の高度な研究、プロトタイピング、製造のための貴重なツールです。