中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377212 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、半導体、ひずみ工学、ナノテクノロジー、光学およびエネルギー処理における多くの用途のニーズを満たすように設計された先進的なプロセス対応型リアクターです。この原子炉は、低温から高温、高圧、そして多数の材料や化学物質を持つ様々な複雑な大気中で動作することができます。マルチモード処理と高度なオートメーションの組み合わせにより、原子炉は精度と再現性を備えた複雑な処理タスクを実行することができます。この原子炉には、プロセスパラメータを正確に制御できる制御装置があり、幅広いプロセスのカスタマイズと最適化を可能にします。この制御システムには、適切なウェーハ位置を確保するための自動ウェーハ配置、および再現可能な蒸着アプリケーション用に保存およびリコールできる4つの特定の蒸着レシピを設定する機能などがあります。リアクターの動作は、ユニットのハードウェア、温度、およびその他の重要なパラメータのハードウェア監視によってリアルタイムで監視されます。原子炉室は温度制御されており、バルクウェハ、基板、カセットローディングなど、さまざまなローディングハードウェアをサポートできます。チャンバー設計により、迅速なサイクル時間と均一な温度分布により、均一な処理結果が得られます。2段階の直接加熱と間接冷却により、汚染を低減し、プロセスの再現性を向上させます。チャンバーには、チャンバーが圧力を失うか、圧力が低すぎると操作をシャットダウンする設計の安全装置も備えています。AMAT Centura DPS IIには、フィルムの厚さを監視するための不透明度モニター、またはオゾン発生器が化学反応のためのオゾンを生成するなど、オプションの追加ハードウェアもあります。この原子炉には、堆積プロセス中に不活性ガスを導入するためのオプションのポートもあります。この原子炉は高真空で動作するように設計されており、プロセスパラメータのばらつきとアプリケーションレシピの柔軟性が考慮されているため、処理に最適な条件が得られます。応用材料CENTURA DPS+IIは、幅広い温度およびガスにおいて精密かつ反復可能な処理が可能です。半導体、ひずみ工学、ナノテクノロジー、光学およびエネルギー処理アプリケーションの基準を超える高品質の結果を保証します。この原子炉は、最小限のメンテナンスと維持管理で均一で効率的な結果を提供するための高度なオートメーションおよび制御機能を備えた使いやすさと信頼性のために設計されています。