中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9243879 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、研究と生産の両方の用途のために設計された高機能で高度な酸化処理装置です。この原子炉は、コンフォーマルヘテロ接合プロセス用に特別に設計されており、優れたプロセス制御を提供します。その設計は、高k誘電体、金属、ポリマーなどの蒸着を含む、さまざまな用途での薄膜の均一な蒸着を可能にします。AMAT Centura DPS IIのチャンバーは低熱質量のステンレス鋼でできており、基板表面への熱拡散を最小限に抑えます。このシステムには、粒子損失と散乱損失を最小限に抑えるように設計されたアウターヒートシールドが装備されており、内部は高温での粒子放出を低減するために非常に研磨された仕上げが施されています。このユニットはまた、2つのロードロックを備えており、より高速なロードとアンロードのサイクルを可能にします。APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+IIには高度なエンドポイント検出機があり、実行中にレシピのチューニングと監視の必要性を排除します。このツールは、強力な放射ドームとスロット状の誘導源で高い加熱性能を提供します。これにより、最大1000°Cの急速加熱が可能になり、プロセス全体で均一な温度が保証されます。無声ランニングおよび手入れ不要ターボポンプは処理の間にガスの流れおよび精密圧力レベルの精密制御を保障します。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II電源コントローラには、処理パラメータの設定と監視に使用されるフロントパネルインターフェイス（FPI）が含まれています。このコントローラは、プロセスの均一性と再現性を高めながら、パラメータの簡単かつ迅速なチューニングを可能にします。適応性のあるガンマコントロールアルゴリズムは、プラズマパラメータの正確な制御と迅速な測定とフィードバックを可能にし、沈着中に望ましい基板条件を維持します。AMAT CENTURA DPS+IIは研究および生産の適用のための理想的な選択です。その高度な設計と機能のおかげで、アセットは優れたプロセス制御、改善された均一性、より速いロードとアンロードのサイクルを提供します。さらに、強力な加熱およびガス制御機能と高度なエンドポイント検出により、現代の酸化プロセスにとって非常に貴重なツールとなります。