中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9213084 を販売中
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ID: 9213084
Metal etchers
Model
Channel A, B: DPS II
Channel C, D: AXIOM
Chamber A, B:
Model: DPSII metal
Bias generator: AE Apex 1513 13.56 MHz, maximum 1500 W
Bias match: AE 13.56 MHz,3 kV navigation
Source generator: AE APEX 3013 13.56 MHz, max 3000 W
Source match: AE 13.56 MHz, 6 kV navigation
Lid: Ceramic lid, single gas nozzle
Turbo pump: STP-A2503PV
Throttle valve: VAT Pendulum valve DN-250
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: Monochromatic
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kit coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber C, D:
Model: ASP
Source generator: DAIHEN ATB-30B
Source match: DAIHEN SMA -3001
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
VODM
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: NextGen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CL7
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 4.0 FEPC
FIC PC Type: CPCI
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side storage: Right side
MFC Configuration:
EWE-02A Gas name Max flow MFC type
Gas 1 BCL3 200 SC-24
Gas 2 NF3 100 SC-23
Gas 3 - - -
Gas 4 CL2 400 SC-24
Gas 5 C2H4/HE 400 -
Gas 6 SF6 200 SC-24
Gas 7 O2 100 AANGD40W1
Gas 8 CF4 100 AAPGD40W1
Gas 9 AR 400 SC-23
Gas 10 N2 50 SC-22
Gas 11 N2 300 SC-24
Gas 12 CHF3 50 SC-23
EWE-02B Gas Name Max flow MFC type
Gas 1 BCL3 200 SC-24
Gas 2 NF3 100 SC-23
Gas 3 - - -
Gas 4 CL2 400 SC-24
Gas 5 C2H4/HE 400 -
Gas 6 SF6 200 SC-24
Gas 7 O2 1000 SC-25
Gas 8 CF4 100 SC-23
Gas 9 AR 400 SC-23
Gas 10 N2 50 SC-22
Gas 11 N2 300 SC-24
Gas 12 CHF3 50 SC-23
EWE-02C Gas Name Max flow MFC type
Gas 7 O2 10000 SC-27
Gas 8 CF4 300 SC-24
Gas 9 - - -
Gas 10 N2 1000 SC-25
EWE-02D Gas Name Max flow MFC type
Gas 1 - - -
Gas 2 - - -
Gas 3 - - -
Gas 4 - - -
Gas 5 - - -
Gas 6 - - -
Gas 7 O2 10000 SC-27
Gas 8 CF4 300 SC-24
Gas 9 - - -
Gas 10 N2 1000 SC-25.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、半導体および光学産業で様々な用途に使用されるモジュール式ウェーハ処理装置です。これは、プラテンと原子炉室の2つの主要なコンポーネントで構成されています。プラテンは、システムから導入および削除する必要がある処理ツールとウェーハの間のインタフェースです。それは正確な処理を保障するために原子炉室への基質の整列そして配置を容易にします。また、ウェハハンドラ、光学ポストアライメント、バスコンポーネントなどの機能も備えており、プロセス全体をさらに改善します。原子炉室は、ユニットの主要な処理領域であり、さまざまな反応条件に対応するように設計されています。加工チャンバー、プラテン搬送アーム、反応チャンバー蓋、出入口バルブ、排気ポート、リモートプラズマソース、オートGC、 RFジェネレータなどのオプション機能で構成されています。反応室のふたは部屋内の処理のための制御された環境を提供し、温度および圧力の正確な制御を可能にします。入口/出口バルブは、プラテンと反応チャンバーの間のインタフェースとして機能します。基板がチャンバーを出入りできるように開閉します。排気ポートは、処理中に反応性ガスを排出することができます。AMAT Centura DPS IIは、モジュール式アプローチによる設計の柔軟性の向上、反応チャンバー蓋からのプロセス制御の強化、ウェーハの取り扱いとプラテンからのアライメントの改善など、さまざまな利点を提供します。また、繰り返し可能なプロセス、より高速なサイクルタイム、より高いスループットを可能にします。この機械は、クリーンな動作環境を維持するように特別に設計されており、乾燥プラズマエッチングプロセスに適しています。全体として、APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+IIは、さまざまな用途に対応するように構成することができる信頼性の高いユーザーフレンドリーなリアクタツールです。モジュラー設計により、ユーザーは柔軟性と制御を提供する特定のニーズに簡単にセットアップを適応させることができます。この資産は、スループットを向上させ、製品歩留まりを改善し、製造の時間とコストを削減することができます。
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