中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9189889 を販売中
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ID: 9189889
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Poly etcher, 12"
(4) Chambers:
(3) DPS II
Poly
Axiom
Chamber configuration:
Chamber A:
Chamber model: DPS II
Bias generator: AE APEX 1513, 13.56 MHz, Maximum 1500 W
Bias match: AE, 13.56 MHz,3 kV navigat
Source generator: AE APEX 3013, 13.56 MHz, Maximum 3000 W
Source match: AE, 13.56 MHz,6kV navigat
Lid: Ceramic lid, dual gas nozzle
Turbo pump: EDWARDS STP-A3003CV
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310, 500/500 1/4VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: EyeD IEP
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kits coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber B:
Cathode chiller: SMC POU
Chamber C:
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Chamber D:
Chamber model: AXIOM
Source generator: 5000 W
Source match: AE match (RF System)
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306 Server
FIC PC type: 306 Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot (A3 Type)
Side storage: Right / Left side
MFC Configuration
Chamber A:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 DSLGD1XM
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber B:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber C:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber D:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 5 N2 1000 DSSGD1XM
Gas 7 4%H2/N2 5000 DSVGD1XM
Gas 8 O2 10000 DSVGD1XM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、コンシューマーエレクトロニクスや自動車部品から航空宇宙部品、医療機器まで、幅広い製品の製造に使用できる先進的なプロセス炉です。このシステムは、柔軟で信頼性の高い処理能力を提供するように設計されており、生産サイクルを一貫して効率的に管理できます。AMAT Centura DPS IIは、ステンレス鋼などの高品質の材料を使用して、長寿命を保証します。それは原子炉室、供給のコップ、用具のコップ、排気の流れの制御装置および駆動制御装置である5つの主要な部品で構成されます。原子炉室は、化学反応に最適な環境と温度を提供するだけでなく、腐食性の蒸気から保護するための不活性な雰囲気を提供するように設計されています。フィードカップには、加工工具に原料を導入するために使用されるフィードマシンが装備されています。工具カップは精密工具やアクセサリーを収納するために使用されます。排気フロー制御装置は、原子炉室から排出されるガスおよび蒸気の量を制御し、安全なレベルで維持することを保証する責任があります。最後に、駆動制御資産は、原子炉の動きの速度を調整し、正確な温度制御を確保するために使用されます。応用材料CENTURA DPS+IIには、オペレータとモデル自体を保護する多くの安全機能も含まれています。これらの安全機能には、緊急遮断スイッチ、圧力監視装置、酸素監視システム、不活性ガス監視ユニットなどがあります。さらに、このマシンのソフトウェアは、動作中に発生する可能性のある障害やリスクを迅速に特定するのに役立つ詳細な診断を表示することができます。全体として、AMAT CENTURA DPS+IIは、製品の生産のためのさまざまなプロセスを実行することができる高度で信頼性の高いツールです。堅牢な設計と包括的な安全機能により、あらゆる製造セットアップに最適です。
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