中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9188294 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、高度な熱高密度プラズマ炉です。エピタキシー、CVD、 ALD、 ALOxコーティングなどの高エネルギー電子ビームを必要とする様々なプラズマ蒸着プロセスに高い蒸着速度を提供するように設計されています。AMAT Centura DPS IIは、最先端の物理および化学蒸着機能を提供します。この原子炉には、高度なマルチグリッド電子源が装備されており、均一な分布と不均一な分布の両方を可能にし、大きな基板圧力範囲を備えています。また、独立したガス流量制御装置を備えており、最大7つの個別試験ガスラインをサポートしています。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+IIには、迅速かつ効率的な起動、シャットダウン、およびダウンタイムの短縮を実現する完全自動化されたチャンバークリーニングプロセスが付属しています。効率的な表面処理プロセスには、自動ガスフローモニターとマルチゾーン圧力センサーが含まれます。これにより、酸素、窒素酸化物、一酸化炭素、塩素、トリクロロシランなどのプロセスガスによる蒸着プロセスが可能になります。原子炉の制御およびデータ収集システムは、プロセス監視とデータロギング機能を提供するように設計されています。さらに、カスタムレシピにより、最適な熱制御、均一な蒸着、再蒸着の低減が可能です。このユニットは、柔軟性と剛性のある基板の両方に最適な均一性と成膜を提供することができます。これにより、基板上のさまざまな領域で均一な堆積が保証され、最適な歩留まりが保証されます。AMAT CENTURA DPS+IIリアクターには、基板汚染や劣化のリスクを最小限に抑える不活性ガスバックサイド排気機能が搭載されています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+IIは、半導体業界の薄膜をマイクロエレクトロニクスデバイスにパッケージングするなど、幅広い用途に使用できます。マルチゾーン蒸着機と広範囲の蒸着ガスにより、研究者は大幅な製造生産性とプロセスの堅牢性を達成することができます。このツールには、原子炉の安全な動作と危険なプロセスの回避を保証する安全機能も装備されています。