中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9120412 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMATによるCentura DPS IIリアクターは、半導体加工で最高の生産性を実現するために設計された先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、1時間あたり最大115個のウェーハの実用的なスループットを備えており、業界最速の原子炉の1つです。このユニットは、避難用のベル瓶からの粒子を蒸発させる3ゾーンのソースによって動力を与えられ、それらが粒子残留物を減らし、性能を向上させるために原子炉に向ける。また、2つの回転基板ホルダー、2つの独立して制御された温度ゾーン、および2つのリモートプロセス制御ゾーンが含まれています。AMAT Centura DPS IIリアクターは、アクティブな温度と圧力制御によるプロセス環境の優れた制御も提供します。アクティブな温度と圧力制御により、原子炉はプロセス温度、圧力、および大気に対する厳密な制御を維持し、可能な限り最高の製品歩留まりをもたらします。このマシンには、高度なデータロギングとプロセスレシピの実行も含まれており、工具の性能と製品歩留まりを最大限に制御できます。データロギングにより、オペレーション担当者は重要なプロセスパラメータのランタイム値を監視し、プロセス制御と製品歩留まりを向上させることができます。プロセスレシピの実行により、APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+IIは、複数のポリシリコン層と金属層を持つ複雑な化学物質を実行する際に、高い精度と再現性を提供します。AMAT CENTURA DPS+IIは、高いスループット、高速プロセス時間、および高精度を必要とするあらゆる半導体プロセス環境に最適なツールです。高度な機能とプロセス環境の制御により、AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+IIは、最も複雑な化学物質の最高歩留まりと最低欠陥率を達成することができます。