中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116830 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIリアクターは、さまざまな高度な加工作業に使用される半導体製造ツールです。この装置は、高い需要と複雑なプロセス手順のための堅牢で高性能な生産プラットフォームを提供します。原子炉の主な機能部品には、プロセスチャンバー、高圧ターボ分子ポンプ、低圧イオンポンプ、凍結保護トラップ、制御プラットフォームが含まれます。プロセスチャンバーは、複数のウェーハ処理の高いスループットを実現するように設計されています。それは統合されたエッチングおよび沈殿の部品が付いている絶縁されたステンレス鋼です。高圧ターボ分子ポンプを使用して、チャンバー内の安定したタイトな真空を維持し、複数のウエハ処理を可能にします。優れたサービスと迅速な現場再生により、高いポンプ速度を提供します。低圧イオンポンプは、処理中の光学部品をサポートするために使用されます。それは高められた均等性およびプロセス安定性を提供します。凍結保護トラップは、凍結凝縮物の蓄積による腐食からシステムコンポーネントを保護するように設計されています。コントロールプラットフォームは直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスで、効果的なプロセスパフォーマンスを実現します。高速RFバイアスとパルスパワーを包括的に制御し、消費電力を最小限に抑えた優れた品質成膜を実現します。このプラットフォームには、統合された圧力制御ユニット、温度制御マシン、および包括的な安全インターロックツールも含まれています。要約すると、AMAT Centura DPS IIリアクターは、半導体製造のための堅牢で高性能なソリューションを提供します。その統合されたコンポーネントと制御プラットフォームは、複雑で要求の厳しいプロセスステップに最適です。