中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa #293635852 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIリアクターは、集積回路（IC）およびその他の高性能マイクロエレクトロニクス部品の製造用に特別に設計された高度なエッチツールです。AMAT Centura DPS IIは、低エネルギーの蛍光体コーティングと高精度のビーム制御を組み合わせ、エッチング工程で正確な形状と層厚を実現するハイスループットエッチングツールです。このツールは、120 Kelvinまでの温度で動作するように構築されており、急速で低温のエッチングプロセスと深蒸着能力により、他の従来のエッチツールと比較してエッチプロセスの柔軟性に優れています。応用材料CENTURA DPS+IIリアクターは、多電流、マルチガス、マルチレート機能に加えて、デュアルチャージキャリアのイネーブルメントなど、いくつかのプロセス革新を備えています。これにより、複数のエッチングプロセスの個々のステップを指定し、高い精度で特定の層の厚さを達成することができます。CENTURA DPS+IIは、高度なプロセス制御と監視も提供し、ユーザーは製品品質を監視しながらドリフト時間やパルス電圧などのパラメータを調整することができます。このツールの設計により、汚染やウェーハの破損も最小限に抑えられます。ロボットウェハローディング装置と自動ガスミキシングシステムを搭載し、調整可能なビームフォーカスユニットに加えて、ダウンタイムを最小限に抑えて効率的かつ正確な処理を保証します。Centura DPS IIは、最適なウェーハ温度を維持するための統合冷却機と、腐食性ガスを除去するための専用の排気ツールも備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+IIは、幅広いエッチング処理を行うために、様々なリン被覆セラミック、ステンレス、モリブデン-シリコン基板を使用しています。ドライエッチングやウェットエッチング、イオンビームエッチング、ディープxエッチングなど、さまざまなエッチングプロセスを切り替えるためにあらかじめプログラムすることができます。APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、広範な寿命を通じて、ハイテク業界で非常に信頼性が高く効率的なエッチングツールとなっています。非常に精密な層の厚さと高いスループットで正確にエッチングする機能により、業界で非常に人気の高いエッチツールです。この低温エッチングプロセスは、このツールの高度なプロセス監視および制御資産と相まって、AMAT CENTURA DPS+IIは、高性能ICやその他のマイクロエレクトロニクス構造を製造するための貴重なツールとなります。