中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284376 を販売中
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ID: 9284376
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2016
Etcher, 12"
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2は半導体製造のために特別に設計された半自動、生産クラスの原子炉です。デバイス製造のためのフォトレジスト、蒸着、エッチング、表面処理プロセスを実行するための高度なマルチチャンバー機器です。このシステムは4つの個々のプロセス・チャンバで構成されており、それぞれ最大12インチの200 mmウェーハ基板に対応できます。ユニットには、チャンバーからの基板の挿入と除去を可能にするデュアルステージロボットアームが装備されています。このロボットアームは、コンテナからウェーハをロードおよびアンロードするために使用できる手動ロードロックによって補完されます。AMAT Centura DPS II Mesa T2には、5分間で最大8 Torrの圧力を達成する能力を各チャンバーに与える急速な圧力制御マシンも含まれています。さらに、工具全体の精密ヒーター制御は、30〜350°Cの範囲で温度を達成することができます。さらに、APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2には、洗練されたメンテナンス資産があり、オペレータがポンプの再循環エラーを特定し、汚染の可能性を低減し、予防メンテナンスを簡素化するのに役立ちます。このモデルは、包括的な診断システム、完全なイベントログ、およびオンボードパーツキットを持つユーザーにサポートを提供します。さらに、装置はオペレータがリアクタント化粧品およびプロセス適合物をリモートで改善し、監視することを可能にします。最後に、Centura DPS II Mesa T2は、SEMI E12やSEMI S2などの業界標準に準拠しています。このシステムは、クリーンルームと互換性があるように設計されており、排気口ユニットと排気洗浄機が装備されています。その小さい足跡は容易な取付けを可能にし、用具は顧客の必要性に適するようにカスタム構成することができます。
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