中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HP #9314662 を販売中
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ID: 9314662
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12"
Poly etch
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
RF Gen rack
AC Rack
Missing parts:
KAWASAKI ATM Robot EFEM
Buffer chamber ( VHP Robot)
Turbo pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HPは、最適な速度と精度のために設計された高度なウェーハ処理炉です。これは、材料の均一な加熱と堆積を提供するために、マルチゾーンチャンバー設計を利用して、一貫した結果を確保します。プロセスチャンバーは、独立した温度制御を備えた最大6つの個別のサークル冷却ソリューションのために、約3つの水平ゾーンを備えた統合テーブルを備えています。この表は、同時処理を可能にし、ユーザーはより高いスループットとより速いサイクルタイムを達成することができます。原子炉室は真空マニホールドに囲まれています。マニホールドの設計により、プロセスが真空中で実行され、ウェーハの均一な沈着とエッチングが可能になります。このチャンバーには、測定されたプロセス温度に沿って正確な量と比率でプロセスガスを提供するガス注入装置がさらに装備されています。AMAT Centura DPS II AE Mesa HPにはAMAT Control Systemも搭載されており、プロセスエンジニアはさまざまなインストール用に個別のレシピを作成できます。また、プロセス条件をリアルタイムで監視し、プロセスの最適化を可能にします。さらに、このユニットには、必要な安全基準に準拠するための安全機能が装備されています。この原子炉はまた、高精度を提供し、堆積物とエッチング材料の厚さの均一性を提供します。また、優れた再現性と高度なプロセス制御を提供し、ウェーハ製造プロセスの歩留まりを向上させます。結論として、APPLIED MATERIALTS Centura DPS II AE Mesa HPは、均一な加熱、成膜、エッチングによる高性能ウェーハ加工を実現するように設計されています。この原子炉には真空マニホールド、ガス噴射装置、制御ツールが装備されており、ユーザーは均一で反復可能なプロセスを提供する強力なツールを提供します。さらに、この原子炉は、最大のプロセス安全性、精度、および歩留まりのために設計されています。
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