中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS I #9116831 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Iは、低温半導体およびデバイス用途に使用される高性能の拡散および酸化プロセス用に設計された単一のウェハリアクタです。この原子炉は、革新的なデュアル透磁率ガス供給装置を使用して、最適な均一性、総質量輸送、およびプロセスパラメータの正確な制御を保証します。このプラットフォームは、所望の歩留まりを維持しながら作業負荷を簡素化することを目的として作成されました。AMAT Centura DPS Iリアクタエンクロージャとチャンバーシステムは、ステンレス鋼で構成されています。センチュラユニットの寸法は、総幅950mm、総高さ796mm、総深さ959mmです。APPLIED MATERIALTS Centura DPS Iの内部サイズは、直径505mm、長さ610mmです。原子炉室は560°Cと6 x 10-4 Torrで測定します。機械の総負荷容量はウエハカセットを含む20のkgであり、最高の負荷均等性は± 0。3°Cです。Centura DPS Iは、デュアルシャワーヘッド大量輸送、コンフィギュレーション可能ゾーン機能、高度なガスパージモード、プロセスマネージャソフトウェア、Easy Processing Maintenance、真空プロセスモニタなどの機能により、ユーザーの利便性をさらに最適化します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Iリアクターには、特許出願中のデュアルシャワーヘッド大量輸送ツールが装備されています。この2インワンのガス流量アセットにより、下向きのシャワーヘッドごとに反応ガスを正確に制御し、均等に大量輸送することができます。AMAT Centura DPS Iリアクタには、各ゾーンの温度、流量、圧力設定をデジタル表示することで、オペレータが最大3つの独立したガス流量ゾーンを設定できるようにすることで、プロセスプログラムをさらに強化する構成可能なゾーン機能があります。高度なガスパージモードにより、精度が向上し、パージ時間が短縮され、熱の一貫性が向上します。プロセスマネージャソフトウェアは、ユーザーインターフェイスの制御を容易かつ直感的にし、レシピの作成と操作を再配置する必要なく可能にします。Vacuum Process Monitorは、高度なジェネレータを使用してプロセス全体の真空をリアルタイム監視することで、プロセス結果が一貫していることを保証します。さらに、Easy Processing Maintenanceとオンボード診断により、オペレータは原子炉の問題を簡単に診断およびトラブルシューティングできます。APPLIED MATERIALTS Centura DPS Iは、低温半導体およびデバイス用途向けに高精度の拡散および酸化プロセス用に設計された強力なシングルウェーハリアクターです。Centura DPS Iリアクターは、デュアル透過性ガス供給モデル、コンフィギュレーション可能ゾーン機能、高度なガスパージモードにより、正確に制御された均一なプロセスパラメータを提供し、ユーザーの利便性と歩留まりを最大限に高めます。