中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379822 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、半導体デバイス製造に使用される高出力加工ツールです。素材を基板に高速エッチング・成膜することが可能で、非常に複雑な特徴を生み出すのに最適です。G5リアクターは、誘導結合プラズマ（ICP）源とマイクロ波励起容量結合プラズマ（CCP）源を組み合わせたハイブリッド、デュアルビーム、ダイレクトプラズマ源（DPS）リアクターです。G5には、最大5kWのエネルギーを提供する強力なマイクロ波発電機が装備されています。マイクロ波ビームは基板に集中し、非常に均一なイオンエネルギーと粒子サイズのプラズマを作り出します。この均一性は、一貫したエッチングと沈着の結果を保証するために重要です。G5リアクターのDPSアーキテクチャは、安定した精密なマイクロ波プラズマをさらに保証します。G5はまた、エッチングと蒸着のための理想的な処理環境を確保するためのガス制御機能の広い範囲を持っています。G5で使用されるガスには、NF3、 O2、 Ar、 O2/N2、 H2が含まれます。これらのガスの流れを慎重に制御することにより、G5は従来のプロセスで達成できたよりも高品質のエッチングと堆積物を生成します。また、G5リアクターは、自動、フェイルセーフ、マイクロ波閉止システムなどの高度な安全機能を備えており、最大限の安全性と動作信頼性を確保しています。また、プロセス副産物からの汚染を最小限に抑え、歩留まりと製品品質をさらに向上させるように設計されています。結論として、AMAT Centura DPS G5リアクターは、高品質の半導体デバイスの製造に適した強力で信頼性の高いツールです。デュアルビームDPSアーキテクチャ、幅広いガス制御機能、数多くの安全システムを備えたG5は、半導体デバイス製造の市場で最も優れた原子炉の1つです。