中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379820 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5は、生産性を最大化し、コストを削減するために設計された高性能リアクタです。デュアルプラズマソース（DPS）技術を活用したシングルウェハ、高生産性、インライン機器です。このシステムは、高圧および温度で高密度プラズマを生成することができる、デュアル周波数のRF駆動プラズマ源に基づいています。DPS技術は、ウェーハ全体でプラズマの異なるガスプロファイル分布を作成するのに役立ちます。デュアルガス射出ユニットは、均一性とパターニングを確保し、ウェーハ全体のエッチングの均一性を向上させるのに役立ちます。このマシンには、一貫したプロファイルを維持するのに役立つ統合されたプラズマ監視および制御ツールもあります。また、リアクターはモジュラーアーキテクチャで設計されており、異なるプロセス要件に対応するように構成および再構成することができます。このモジュール設計は、ダウンタイムの削減とプロセス開発の迅速化にも役立ちます。また、低圧プロセスから高出力プロセスまで、幅広いプロセス能力を備えています。モジュラー設計により、複数の構成とプロセスオプションが可能になり、生産と開発に最適なツールとなります。AMAT Centura DPS G5は、ウェーハ全体で高精度、高スループット、均一性を必要とする高度なアプリケーションに最適なツールです。