中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379816 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5は、多種多様な材料の堆積、エッチング、埋め込みを目的とした最先端の原子炉です。最新のリソグラフィとエッチング技術を基にした堅牢なモジュラー設計を提供します。この最先端の原子炉は、半導体加工に適しています。DPS G5は、チャンバーとプロセスガスを含む管状の内部ボリュームに囲まれています。チャンバーは、イオンビームの範囲を選択して取り付けローターの高速セットを備えています。DPS G5に存在するこの機能は、プラズマおよび/またはイオン注入による材料のターゲティングに役立ち、エネルギー消費が減少します。イオンビームの範囲には酸素イオンと窒素イオンが含まれており、これらを半導体デバイス製造などの幅広い用途の基板に埋め込むことができます。DPS G5は、システムに統合された多数のプロセス制御モジュールを備えています。これらには、クローズドサイクル降水チャンバー、複数の真空ポンプ、および自動マスフローコントローラが含まれます。これらの内部制御システムにより、DPS G5はプロセスガスの質量流量、圧力、温度を正確に調整し、最適な制御と再現性を実現します。この原子炉は、高い性能率と高いスループットを提供することができます。DPS G5は、分光、プロセスパラメータ測定、プラズマ制御など、いくつかのinsitu診断機能を備えています。このinsitu diagnosticsは、基板の表面を正確に操作するための自動プロセス制御を搭載しています。AMAT Centura DPS G5もメンテナンスの容易さのために設計されています。リアクターには複数のクイック交換ツールとモジュールが含まれているため、フィルターやナイフの交換など、定期的なメンテナンスを容易に行うことができます。性能的には、DPS G5は、金属、セラミックス、プラスチック、および様々な半導体材料を含む幅広い材料のエッチング、蒸着、埋め込みが可能です。高温・高圧、超高真空条件下での処理が可能です。APPLIED MATERIALTS Centura DPS G5は、幅広い材料加工アプリケーションに最適です。