中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797 を販売中
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ID: 9352797
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、薄膜構造の成膜およびエッチングに使用される高性能の熱処理装置です。この原子炉は、プロセスのばらつき、均一性、および再現性が成功のための重要な要因であるアプリケーション向けに設計されています。G5は、実績のある技術を活用して、正確で再現性のある信頼性の高いプロセス結果を提供します。AMAT Centura DPS G5リアクターは、各チャンバーのデジタル温度ノミネータと、1200°Cまで動作可能なマルチゾーン、ガス保護された特別なコア熱スプレッダーを備えた温度制御を特徴とするように設計されています。高効率ポンプと均一なエッチング分布は、プロセスの再現性と高い歩留まりに必要な信頼性の高いプロセス条件を提供します。自動クリーニングによるメンテナンスを軽減するオートクリーン機能を搭載。業界をリードする成膜とエッチングの均一性は、各プラズマチャンバーの高均一光学設計によって達成され、非対称プラズマ分布による不均一性がプロセス結果を歪めることを防ぎます。各プロセスチャンバーには、エッチングの均一性を最大化するために、従来のファラデーシールドまたは磁気シールド壁のいずれかが装備されています。クロスチャンバー混合物配送システムは、再現性の高い蒸着形状を確保するために、再現性の高いプロセスガスを提供するように設計されています。APPLIED MATERIALTS Centura DPS G5 Reactorは、すべての処理作業のための低ノイズ動作を特徴とし、排出された粒子や汚染物質を最小限に抑えるために狭い動作温度エンベロープを維持します。この原子炉は、爆発性ガスを含むように設計された1ガスインレットと1ガスアウトレットユニット、緊急停止ボタン、制御不能状態が検出された場合に即座に機械をシャットダウンするための迅速な緊急停止弁、および過熱を防ぐための温度融合ツールを備えた安全性を念頭に置いて設計されています。Centura DPS G5リアクターは、精度と信頼性を必要とする最先端の熱処理アプリケーションに最適です。この原子炉は、高性能な機能により、一貫して優れた加工結果を提供することができ、高度な熱処理ニーズに最適です。
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