中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9309116 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5は、高度なナノメートル構造とデバイス機能の大量生産用に設計された専用プラズマ炉です。これは、表面活性化とプラズマ蒸着という2つの真空加工技術を単一のクラスタ対応機器に組み合わせる、オールインワンの自己完結型プラットフォームです。AMAT Centura DPS G5リアクターは、低圧プラズマ源、機能ディスプレイ、ウェーハ輸送、環境システム、化学供給ユニットなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。低圧プラズマ源は、プラズマ処理に使用される反応種を生成するために使用されます。それは4 mtorrの操作圧力まで発射することができます。電源や周波数制御などの機能ディスプレイを使用して、プラズマリアクターを最適な動作に調整します。このディスプレイは、原子炉のパラメータを完全にカスタマイズすることもできます。APPLIED MATERIALTS Centura DPS G5のウェハトランスポートセクションは、ウェハローダーからプラズマチャンバーまでウェハを安全かつ確実に輸送し、最適な熱性能を維持するよう設計されています。このトランスポートには、ウェーハロードされたカセット、真空絶縁バルブ、および光学センシングを備えたグローブボックス・インタフェースも含まれています。Centura DPS G5の環境マシンは、反応ガス、アダプティブプラズマ電源制御、バックグラウンドガススイッチング、レシピを完全に自動化された使いやすいツールで提供します。このアセットにより、最高品質で最も再現性の高いプラズマエッチングプロセスが保証されます。DPS G5の化学供給モデルは、化学投与マニホールドで構成され、生産エリアへの精密な化学供給が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5は、堅牢なマイクロ基板プラットフォームとデュアル真空加工技術により、再現性と制御性に優れたプロセスを効率的なコストで提供します。この原子炉は、金属、酸化物、窒化物などの迅速なエッチング、蒸着、洗浄を、業界をリードする速度で正確に行うことができます。ユーザーフレンドリーなコントロールパネル、完全なソフトウェア統合、ネットワーク接続により、ユーザーはアクセスしやすいインターフェイスで一貫したプロセスを維持することができます。