中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188282 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、半導体デバイス製造の厳しいニーズを満たすように設計されたハイエンドで完全に自動化されたプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。高度な基板処理機能と直感的なユーザーインターフェイスの両方を備えているため、ユーザーはプロセスを迅速かつ便利にオンラインにすることができます。このシステムの主な利点は、材料を複数の層に並べて大型基板に堆積させることで、集積回路などの高効率生産を可能にすることです。AMAT Centura DPS G5は、窒素、水素、酸素、アルシン、シラン、テトラキスジメチルアンモニウムシランなど、さまざまなガスでの動作を可能にする、幅広い電源を備えています。パワーレベルは10〜1200Wまで簡単に調整でき、精密な蒸着速度と材料の均一性を実現します。フィールドエミッタは、基板位置を正確かつ効率的に制御し、高精度処理を可能にします。平行電極ユニットは、1回の実行で複数の層の均一な厚さを可能にするように設計されています。最適なプロセス品質を確保するため、リアルタイムのプロセス監視、リモートアクセス、高度なデータロギング機能を備えています。これにより、ユーザーはさらなる改善が必要なプロセスパラメータを追跡して特定することができます。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5にはAMAT Process Control Suiteも含まれており、プロセスをさらに最適化するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルツールの包括的なスイートを提供します。Centura DPS G5は、大量生産のために構築されており、優れた基板処理と信頼性の高い動作を提供します。その信頼性により、欠陥のない部品を製造しながら、ツールは厳しいサイクルタイム要件を継続的に満たすことができます。また、緊急時の自動シャットダウン機能など、さまざまな安全機能も備えています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、信頼性と正確なPECVD機能を提供するように設計された先進モデルです。高精度で正確なプロセス制御により、集積回路やその他のコンポーネントを高品質に生産でき、高度なリモートデータロギング機能により、プロセスを継続的に監視および最適化できます。