中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #293817653 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、ウェーハ製造における幅広い先端材料を処理するために設計された高性能エッチング/成膜装置です。スケーラブルなシングルウェーハプラットフォームを採用しており、幅広い厚さの薄膜成膜が可能です。工具は高効率、高真空、高スループットプロセスを備えており、最大プロセス速度の大面積の基板から優れた均一性と制御性を有する材料を製造することができます。AMAT Centura DPS G5リアクタのチャンバーサイズは直径8インチで、最大8インチのウエハに対応できます。それは他の原子炉よりも高い電離粒子密度を与えるユニークな統合プラズマ源を使用しています。これは、ユーザーがより低いエネルギー消費でより高いエッチングと堆積率を達成できることを意味します。プラズマ源は粒子の汚染を制御するのにも役立ち、ウェーハへの損傷のリスクが少ないドライエッチング材料を使用することができます。リアクターは完全に自動化された設計で設計されており、シリコン、窒化ガリウム、リン酸インジウム、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、その他の化合物など、さまざまなウエハ材料で使用できます。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターのウェーハ負荷/アンロードステーションは、ロボットアームを介して操作され、ウェーハを素早く簡単かつ正確に操作できます。このシステムは、ウェーハの積み下ろしや原子炉の他の機能を制御するオートメーションユニットと統合されています。統合されたコンピュータ・マシンは、高度な計測、データ管理、プロセス監視も提供します。Centura DPS G5リアクターは、プロセス条件の変化にもかかわらず最適に動作するクローズドループ制御ツールで信頼性が高いです。また、高解像度のイメージングアセットとアクティブ冷却モデルにより、高い感度を提供します。このツールには真空装置も内蔵されており、ダメージを与える粒子や粒子の堆積を減らし、防止するのに役立ちます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5リアクターは、高度で高性能なエッチング/蒸着システムであり、高い性能と精度を提供します。さまざまなウェーハ材料に最適なツールであり、統合された機能により、プロセスの効率と品質を最適化できます。
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