中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383832 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA
ID: 9383832
Etcher (3) Mesa chambers Axiom chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESAは、半導体などの基板エッチングに使用される高性能でスケーラブルで信頼性の高い原子炉です。MESAプラットフォームは、さまざまなプロセス技術をサポートし、より高いレベルのパフォーマンスを必要とするアプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。AMAT Centura DPS G5 MESAリアクタプラットフォームは、非破壊DC電源、マルチステージ、多目的MESAプロセッサ、高性能の低圧システム、およびその他のコンポーネントで構成されています。パラメータ可変DCエネルギー源は、再現性のあるプロセス結果を達成するために必要な信頼性の高い一貫した電場を作成します。統合されたパワーコンディショニングと安全モジュールにより、パフォーマンスが向上し、プロセスチャンバーの保護が向上します。多段多目的MESAプロセッサは、最高レベルのプロセス精度と再現性を提供するように設計されています。プロセッサアーキテクチャはプログラム可能で、統合されたプロセス制御機能を備えているため、自動化されたツールを特定のプロセスフローに対して迅速かつ効率的に構成することができます。アプライドマテリアルズCentura DPS G5 MESAは、高性能の低圧システムを搭載しています。これらのシステムは、材料沈着率を向上させ、エッチング速度を向上させる低圧プラズマ処理を提供するために設計されています。基板の高温処理も可能で、成膜やアニールなどの用途にも対応します。Centura DPS G5 MESAの高度な技術は、最も要求の厳しい要件に優れたプロセス機能を提供するために最適化されています。その包括的な機能セットは、高度なプロセス制御を提供し、それは新しい半導体デバイスの研究開発のための理想的なツールとなります。低k誘電成膜・エッチング、集積回路製造、薄膜成膜など幅広い用途に適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESAは、半導体加工の研究および製造アプリケーションに最適なソリューションです。ツールの高度な機能は、信頼性と再現性の高い結果を提供するための優れた選択肢となります。さらに、システムのよく設計されたアーキテクチャと高性能コンポーネントにより、効率と使いやすさが保証され、あらゆる生産ラインにとって費用対効果の高いソリューションとなります。
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