中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA （Metal Etch Selective Area）は、高度なエッチングおよび蒸着プロセスで使用するために設計された、高度で汎用性の高い原子炉プラットフォームです。この原子炉は、AMAT Centura DPSファミリーの第5世代に分類され、前世代の原子炉に比べて重要で信頼性の高い性能上の利点を提供し、長年にわたって業界でテストされ、実証されています。AMAT Centura DPS G5 MESAリアクターは、広いプロセスフローと汎用性の高い機器の柔軟性を可能にする、大きなボトムコンプリート上に構築されています。この原子炉はまた、様々なプロセス要件に適した様々な構成を可能にする様々なガスと流体の入口やコンセントが装備されています。リアクタはまた、異なるプロセス工程のための個別のチャンバを備えたモジュラー設計と、フロントダウンまたはサイドダウンウェハ構成のいずれかで動作するように設定できるプロセスモジュールを備えています。原子炉の設計には、高度で使いやすい制御システムも含まれており、多くのレベルの自動化を可能にし、さまざまなプロセス監視およびロギングツールが付属しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、重要なユニットパラメータの監視と追跡が容易になり、一貫して信頼性と再現性の高いプロセスが保証されます。この原子炉は、超高低エネルギーのプラズマ源と広いRF供給電力レベルを備えており、そのクラスの他のシステムよりもプロセス時間を大幅に短縮することができます。さらに、原子炉の高性能プラズマ源は、高温フォトレジストのプロセスなど、最も要求の厳しいプロセスを処理することができます。また、業界標準のプラズマ放射検出機（PED）、渦電流検出（ECD）、高感度光放射検出ツール（OED）など、高性能プロセスのエンドポイント検出システムも搭載しています。これらのエンドポイント検出システムは、プロセスステップが完了したときに検出し、プロセスバリエーションや欠陥発生を防ぐのに役立ちます。最後に、APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESAファミリーのリアクタには、プロセスレシピの生成と最適化サービス、現場の専門家による分析とトラブルシューティング、延長保証およびサービスプログラムなど、さまざまなサポートとメンテナンスオプションも含まれています。また、運転およびメンテナンス、品質保証およびコンプライアンスに関する業界最高水準の安全基準にも準拠しています。