中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9188283 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESAは、集積回路の製造に使用される半導体炉です。これは、主に最新の高性能デバイスの開発に使用されるシングルウェーハ、マルチガス、パラレルプラズマエッチング/蒸着システムです。この原子炉は、高度な自動化、安定性の向上、安全機能の強化を備えています。このリアクターは、1つのホットウェーハハンドリングシステムと、ウェーハ表面に金属層や酸化物をエッチングまたは堆積させるために使用できる複数のプロセスガスを備えています。複数のガスを使用することで、メタルシリサイドの増殖を制御し、基質酸化を可能にし、金属領域のアニールを高めるなど、幅広い加工可能性があります。シングルウェハハンドリングシステムは、傾き、角度、焦点などのチャンバーの位置を高度に制御することができます。これは、層の均一な厚さと均一性に重要です。この原子炉の高度な処理能力により、ウェハ製造プロセスから最高レベルの収量を得ることができます。AMAT Centura DPS G5 MESAは、温度制御されたプロセスチャンバーで設計されており、安定性の高い均一な温度分布を提供します。これにより、チャンバーはプロセス全体のサイクルのために所望の温度で保持されます。さらに、チャンバーには自動制御されたエアギャップ、1対のエミッタ電極、および可変周波数RF電源が組み込まれています。この原子炉には、マイクロプロセッサベースのマルチパラメータコントローラが内蔵されており、他の機能の中でも最大2000個のレシピを格納することができます。これらの特徴は、原子炉の低い運用コスト、優れた熱均一性、低熱ドリフト、ミッションの信頼性、メンテナンスが容易であるため、アプライドマテリアルズのCentura DPS G5 MESAは、幅広い製造プロセスに最適です。