中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura (DPN+) #9174570 を販売中

AMAT Centura （DPN+）は、シングルウェーハおよびバッチ処理の両方において高性能の反応イオンエッチングおよび薄膜蒸着を提供するように設計された原子炉です。この原子炉は、III-Vデバイス製造などの高感度かつ高仕様材料の製造および成膜における課題に対処できるプロセス能力を可能にするように設計されています。この原子炉は、広域均一性、高いプラズマ密度、エッチングのための高エネルギーなどの新しい高度な機能にアクセスできる高度なコントローラを備えています。標準のマルチチャンネルソースを使用することで、機器の横方向の均一性がさらに向上します。APPLIED MATERIALS Centura （DPN+）リアクターは、モジュラー設計で構築されており、ユーザーは特定のプロセスのニーズに合わせてシステムをカスタマイズすることができます。リアクターの制御ユニットは、工具全体の最適な性能を維持するために、機械の性能を追跡するように設計されています。また、エッチング率やその他のプロセス要件を確実に満たすために、プロセスエンジニアがプロセスパラメータを監視できる高度な診断機能を使用しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura （DPN+）は、電気静的チャック圧力（ESP）と温度線量を非常に正確に制御することができます。このユニットはまた、エッチングレートを最適化するためのプロセスパラメータの調整を可能にする複数のパルスオプションを提供します。このパルス技術は、シングルパルスやマルチパルスなどの複数のパルスオプションが可能で、リアクティブイオンエッチングを実行する際のエッチング速度の向上とプロセス制御の改善を可能にします。さらに、AMAT Centura （DPN+）には、エッチングチャンバーの温度と圧力制御を可能にする高度なコントローラと、プロセスパラメータを監視および調整する機能が装備されています。これにより、ユーザーはプロセスパラメータを設定し、エッチング率やその他のプロセス要件を確実に満たすことができます。特許取得済みのデュアルマグネトロンは、従来のRFエッチングツールと比較して、より高いイオン使用効率と汚染を低減します。さらに、APPLIED MATERIALS Centura （DPN+）は、構成可能なモデルを作成できる容量を増やすためにコンポーネントを追加することで、原子炉資産を拡張する柔軟性も提供します。さまざまな多目的継手と追加工具により、ユーザーはリアクターを既存の生産ラインに統合することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura （DPN+）炉は、コスト効率に優れた堅牢なソリューションを提供し、新しい材料やデバイスの開発と製造に必要な厳しい要件を満たしながら、正しいプロセス性能を保証します。高度な制御、高性能な機能、幅広い機能を備えたこのユニットは、エッチングプロセスの正確な制御と精度を容易にし、プロセスの安定性、再現性、再現性を保証します。