中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLHは、半導体製造施設におけるウェーハ加工用の原子炉です。この原子炉は、直径約200mm、高さ200mmのプロセスチャンバーを持ち、ヘリウムを使用してチャンバー内の低周囲圧を冷却して提供します。原子炉はまた、超高真空動作を提供し、10-7 Torrまでのベース圧力の間で動作することができます。AMAT Centura DLHは、シリコンウェーハの処理に幅広いオプションと機能をエンジニアや技術者に提供するように設計されています。これには、高いスループット能力、温度の正確な制御、ガス供給、圧力と幅広いプロセス条件での動作能力が含まれます。リアクターは、最大1200°Cの温度でウェーハ処理を可能にし、金属蒸着、誘電蒸着、アニール、エッチングに使用できます。金属沈着のために、原子炉は優秀な均等性のアルミニウム、銅およびチタンを沈殿させることができます。また、酸化物や窒化物などの誘電体の蒸着や、レジストやポリシリコンに優れた均一性を提供します。応用材料Centura DLHリアクターは、冷却されたバッフルと方向ノズルを使用して、プロセスチャンバーに均一な流れを提供します。これにより、ウェーハ表面全体に均一な堆積率が確保され、チャンバーから粒子やその他の汚染物質を除去するのにも役立ちます。この原子炉には、均一性制御、ウェーハ温度制御、プロセス最適化、リアルタイム制御など、さまざまな高度な機能と機能が含まれています。これらの機能により、ユーザーはプロセスを最適化してスループットを高め、歩留まりを向上させることができます。さらに、Centura DLHリアクターは、メンテナンスおよびダウンタイム中にプロセス室を迅速に再活性化し、クリーンアップするように設計されています。これにより、ダウンタイムが短縮され、シリコンウェーハ処理の生産性が向上します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLHは、シリコンウェーハ製造に関連するさまざまなプロセスにおいて信頼性が高く効率的な原子炉です。この原子炉は、幅広い高度な機能と機能を備えており、高品質の結果を達成するために必要な柔軟性と性能をユーザーに提供するように設計されています。