中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLHシリーズリアクターは、高温ウェーハ加工用の真空装置です。これは、コンパクトでユーザーフレンドリーな設計で信頼性と効率的な操作を提供する高度なシステムです。200mm、 300mm、大径ウェーハなど、さまざまなウェーハサイズで使用できるように設計されています。このユニットは、最大1100°Cの高温機能を備えており、高性能プロセスアプリケーションの範囲を提供します。AMAT Centura DLHシリーズリアクターは、独自の設計と構成により、強力な熱性能と優れた機械安定性を兼ね備えています。統合された原子炉の設計には、RTP （Rapid Thermal Processing）用の石英チューブ/エレメントを内蔵した低熱質量ミニチューブヒーターが含まれています。小型管状の設計とシリサイド断熱材は優れた熱応答を促進し、優れた温度精度とタイトなプロセスウィンドウを可能にします。DLH発熱体も高効率で、高い電力入力と高速加熱率を提供します。さらに、このツールは堅牢で離散レベルの電力制御を備えており、プロセスを正確に制御できます。統合されたプロセス制御ユニット（PCU）は、プロセスを迅速に改善するための正確な自動化を提供します。応用材料Centura DLHシリーズリアクターは、さまざまな高度な安全機能を提供します。インテグリティチェックは、ウェーハ処理前の各アセットのパフォーマンス状態を検証します。さらに、安全インターロック、熱電対、および入口圧力監視は、優れた安全性のために熱性能を保護および監視します。最後に、自動圧力制御、強化されたPID制御、石英入口チューブなど、さまざまなオプションを使用してモデル性能をさらに向上させることができます。全体として、Centura DLHシリーズリアクターは、高温ウエハ処理のための強力で効率的で安全な装置です。それは堅いプロセスウィンドウおよび堅いプロセスコントロールとの優秀な熱性能を特色にします。コンパクト設計で省スペース、操作性に優れています。最後に、その安全機能のスイートは、システムのパフォーマンスに比類のないセキュリティと信頼を提供します。