中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ASP+ #9116838 を販売中

ID: 9116838
Chamber system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP+は、半導体ウェーハ処理用に設計された高効率の化学蒸着(CVD)炉です。高度な原子炉は、エピタキシャル成長、ポリシリコン沈着、エキゾチックフィルムの形成などの高度な沈着プロセスを実行することができます。AMAT Centura ASP+リアクターは、優れた生産性、柔軟性、および優れたプロセス制御を提供することにより、大量生産の要求に応えるように特別に設計されています。応用材料Centura ASP+リアクターは、フィルムの完全性を高める最適化された設計を備えています。この原子炉は超長長半導体チャンバーを備えており、熱絶縁性と均一性を向上させることができます。高度な設計により、既存の製造インフラに迅速かつ簡単に統合できます。さらに、Centura ASP+リアクターには、生産管理と持続可能性を向上させるための高温パルス誘導蒸着(HTPID)やクイックバッファ調整(QBA)などの高度な技術が搭載されています。原子炉には、多軸、精密電動ウェハ輸送システムが装備されています。これにより、手動でのウェーハ処理を必要とせずに、正確なウェーハ配置と均一な処理が保証されます。高密度プラズマ(HDP)や低圧可変半径電子サイクロトロン共鳴(LP-VREC)などの高度なプラズマ−を可能にし、プロセスの信頼性と制御性をさらに高めます。Centrea ASP+リアクタには、プロセス値を監視する自動センサーとアラームが搭載されており、リアルタイムデータとリモート監視機能を提供します。高度なデータ収集と制御機能により、オペレータはプロセスパラメータの変更をすばやく検出し、必要に応じて是正措置を講じる手段を提供します。さらに、ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、トレーニング時間を短縮し、オペレータの生産性を向上させます。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura ASP+リアクターは、優れたプロセス制御、信頼性、効率性を提供する、半導体ウェーハ処理のための世界クラスのソリューションを提供します。高度な機能と技術の組み合わせにより、生産性を損なうことなく、優れた歩留まりと均一性を実現します。この原子炉は、既存のシステムに容易に統合できるように設計されており、大量生産のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。
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