中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293821493 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura APは、最新のスマートフォンチップなどの小型デバイス向けに、半導体メーカーが高度で超薄型のフィルムを作成するのに役立つ最先端の高スループット炉です。この装置は、業界をリードするALD （3D atomic layer deposition）技術を使用しており、超薄い材料の層をデバイス表面の正確なパターンに堆積させます。AMAT Centura APは、半導体やメモリデバイスなどの先進的な小型デバイスの製造をサポートしています。この装置は30 x 17 x 17インチで、1時間あたり最大50ウェーハの処理が可能です。最大スループット容量は1日あたり最大2085ウェーハで、ALD成膜用の2つのAPSE88処理チャンバーが付属しています。APPLIED MATERIALS Centura APは、生産プロセスの柔軟性、拡張性、正確性を提供します。独立した高性能メカニカルハンドリングシステムにより、多様なチャンバーとレシピタイプを独立して処理することができ、ウェーハの高速ロードとアンロードを可能にします。ユニットの高度なオートメーションと高い生産効率は、生産スループットと歩留まり制御を迅速に実現するため、生産環境にとっても有益です。機械は高度の均等性制御を提供し、非常に信頼でき、再現可能なプロセスを提供します。このツールの一貫した成膜結果により、デバイスの不一致が軽減され、複数のロットやファブにわたって均一性が維持されます。また、表面の表面粗さが低く、デバイスの性能が向上します。Centura APは、ハイスループット、高度なデバイス製造に最適です。堅牢なハードウェアおよびソフトウェア設計、高度なオートメーション機能、信頼性の高い均一性制御により、優れた結果と高い歩留まり制御を実現します。優れた3D ALD成膜技術により、超薄膜の精密な成膜が可能となり、最新の小型デバイスの生産につながります。