中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293794760 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura APは、薄膜蒸着を伴う蒸着プロセスのスループットと品質を向上させるために設計された次世代原子炉です。AMAT Centura APは、半導体産業の大量製造に最適な高度な並列炉です。APPLIED MATERIALTS Centura APは、ローディングとアンローディングステーションを備えた単一の自動化された原子炉室で構成されています。このチャンバーは、酸素、窒素、アルゴンなどのさまざまなプロセスガス、およびシランまたは四塩化物などの追加のガスを処理するように構成されています。これは、堆積プロセスを最適化するために意図的に設計された電場を作成するための電極のセットが装備されています。原子炉の自動制御システムは、特定の堆積タスクに基づいて、圧力や温度などのプロセスパラメータを正確に調整することができます。作動すると、プロセスガスがチャンバーに放出され、そこで電場が最適な堆積条件を作り出します。反応ガスは、目的の薄膜が形成される基板に移動します。その後、ガスはチャンバーから排出され、チャンバーは閉鎖され、冷却ガスによる適切な洗浄が保証されます。Centura APはメンテナンスが容易なように設計されており、自動診断機能を備えているため、ユーザーは反応パラメータを迅速かつ簡単に診断および調整できます。さらに、このシステムは、堆積プロセス中の汚染を最小限に抑えるために、汚染に強い構造で設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA APの超小型フットプリントにより、大量生産ラインに最適です。また、PVD（化学蒸着）やALD（原子層蒸着）などのプロセスを、幅広いプロセスパラメータと正確な均一性で最適に制御します。効率的な性能と高いスループットにより、半導体産業にとって商業的に魅力的なソリューションとなっています。