中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293762910 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura APは、優れたプロセス制御、再現性、およびプロセス歩留まりを提供するように設計された高性能リアクタです。この装置は、高効率のガスマニホールド、マルチレベルプラットフォーム、および優れたプロセス性能を確保するための大型ガス処理機能を備えています。AMAT Centura APは、単一のウェーハ処理とバッチ処理とクラスタ処理を可能にします。エッチング、成膜、ドライクリーニング、化学機械的平面化など、さまざまなプロセスに対応できます。APPLIED MATERIALS Centura APは、最大4つのプロセスガスと2つのパージングガスを直接注入できるガスインタフェースシステムを採用しています。優れたガスマニホールドは、均一なガス分布と圧力調節を保証します。ユニット内の温度範囲の制御と測定は、信頼性が高く正確であり、処理チャンバ全体にわたって安定した温度環境を提供します。Centura APは、環境から1000Cまで、最大3つのプロセス温度を処理できます。チャンバーパラメータはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して簡単に設定され、オペレータの安全性を確保し、最大レベルのパラメーター制御を提供します。機械はまた部屋の制御された圧力を促進するように設計されている自動圧力傾斜用具を特色にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura APには、さまざまなプロセスに最適な他のいくつかの機能があります。アセットはマルチレベルのサポートプラットフォームで設計されており、複雑なプロセス操作に安定した堅牢なプラットフォームを提供します。このモデルは複数のプロセスヘッドにも対応しており、複数のウエハを同時に処理することができます。さらに、AMAT Centura APには、超高精度検出装置を備えたエンドポイントデクテクタと、再現性と精度を向上させるマスフローコントローラが内蔵されています。全体として、APPLIED MATERIALTS Centura APは、高精度で高性能なウェーハ処理に理想的なリアクタです。それは優秀なプロセス制御、反復性およびプロセス歩留まりを提供するように設計されています。Centura APは信頼性が高く効率的なシステムであり、プログラミングが容易であり、様々なプロセスにおいて非常に望ましい原子炉となっています。
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