中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9329246 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima Xは、新しい高度なナノスケール集積回路の製造用に設計された先進的な超清浄プラズマ反応器です。このプラズマリアクターは、エッチングと蒸着の両方で最高レベルの性能を実現する独自の設計機能を採用しています。このプラズマリアクターは、温度、圧力、真空の変化の影響を受けながらも、ウェーハ全体で同じエッチング特性サイズを自動的に維持するラジアル均一サイクリング技術を採用しています。さらに、このプラズマ炉は他のプラズマ炉と比較して非常に高速な起動時間を提供し、低コストで迅速なプロセスサイクル時間を可能にします。AMAT Centura AP Ultima Xは、スループットと生産性を最適化するための大きな4インチウェーハ表面積を備えており、高スループット要件に対応するために最大600mm/秒でエッチステップを提供します。プレッシャーボートの設計は、優れたウェーハ表面接触に最適化され、ウェーハの表面全体にわたってエッチングの均一性を最大化し、エッチングホットスポットが作成されないようにします。さらに、この先進的な設計により、アプライドマテリアルズCentura AP Ultima Xは、ウェーハにバイアスを最小限に抑えた高いアスペクト比の構造のエッチングに適しています。Centura AP Ultima Xプラズマリアクターは、完全に統合されたオートメーション/プログラマビリティを提供し、ユーザーは任意のアプリケーションに対して正確にエッチプロセスパラメータを調整することができます。このプラズマリアクターには、より信頼性の高い再現可能なプロセスを確保するための自己診断と実行/プロセス監視も装備されています。さらに、高度なガス・プラズマ制御システムを採用し、最高レベルのプロセス再現性と均一性を確保し、優れた歩留まり生産を実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima Xプラズマリアクターは、産業および研究開発の両方の生産要件を満たす、幅広い集積回路エッチングおよび成膜アプリケーションに最適なソリューションです。独自の設計機能と統合された自動化およびプロセス制御システムにより、この高度なシステムは、エッチングと蒸着プロセスの両方に最高のパフォーマンスを提供します。