中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima Xリアクターは、同じチャンバー内で複数のプロセスを実行し、柔軟なレシピで処理を可能にする化学蒸着（CVD）リアクターです。この原子炉は、高度なプロセスの信頼性の高い処理を可能にする機能を備え、幅広い条件下でのデバイス製造用に設計されています。浅いトレンチ絶縁（STI）、層間誘電体（ILD）、ゲート誘電体、金属、高kなどのアプリケーションに使用できるエネルギー効率の高い原子炉です。均一で不均一で混合気体の流れを利用し、優れた加工安定性を発揮します。AMAT Centura AP Ultima Xリアクタは、自動化されたレシピジェネレータを使用して、さまざまなプロセス要件に基づいてパラメーターを素早く調整することができます。ユニットのガスシステムは、最大の柔軟性のために設計されており、ガスの交換、混合、およびシャットリングを可能にします。この原子炉は、Freon-13およびその他のフレオンベースの冷媒で動作し、温度設定の範囲を可能にします。リアクタには、レシピが実行されるとリアルタイムのプロセス情報を提供する可視化モジュールもあります。この原子炉は、化学供給システムとオートメーションシステムの両方を組み合わせており、原子層蒸着（ALD）およびCVDプロセス中の優れた熱制御を可能にします。リアクターには、プロセスを開始する前に自動的に温度を調整する機能があります。これにより、実行から実行までの再現性が確保され、手動による介入がなくなり、プロセス制御が向上します。APPLIED MATERIALTS Centura AP Ultima Xリアクターの周囲温度は最大800°Cまで調整可能です。さらに、この原子炉には、ウェーハ上の一定のフィルム成長のためのプロセスチャンバー内の温度を維持する温度制御装置もあります。APPLIED MATERIALS/Centura AP Ultima Xは、高度なプロセス開発作業に最適な、包括的でエネルギー効率に優れた高性能なリアクターサットです。その高度な自動化、優れた熱制御、柔軟性により、高収率で費用対効果の高いデバイス生産に最適です。