中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9274497 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima Xは、アニーリング、ドーピング、光リソグラフィなどの用途向けに設計された低圧、低温急速熱処理（RTP）炉です。強制対流熱伝達を利用し、再現性と信頼性の高い処理結果を生み出すクローズドサイクル熱装置です。Ultima Xは、-60°Cから700°Cの温度制御を提供し、最高温度ランプ速度は600°C/秒で、急速なサーマルサイクリングを実現します。Ultima Xは0。35 ft³のチャンバー容積を備えており、直径100mmのプロセスチューブは33基板に対応できます。使いやすいデュアルシールドアと副産物を処理するための排気ポートを備えています。基板の積み下ろしには水平チャックも用意されています。原子炉には、個々の垂直および水平の発熱体と、垂直および水平の同時照射のための2つのキセノンランプが搭載されています。このユニットにはさらにAPIII統合コントローラが装備されており、最大1°C/秒の加熱/冷却速度でデジタル温度制御を提供します。このコントローラは、プロセスの合理化に役立つ310のユーザー定義レシピで事前にプログラムされています。タッチスクリーンインターフェイスは、特定のプロセスのパラメータを調整する簡単な方法を提供します。また、このコントローラは赤外線発射および真空制御システムと統合されており、パラメータストレージ用の50データベーススロットを提供しています。Ultima Xは、オプションのブースターポンプを備えた5 mTorrのベース真空レベルを提供する真空ユニットを提供します。統合された真空ゲージは正確な制御を保障し、強制排気口はプロセスガスの出口を可能にします。機械は正確で、安全な操作のための隔離されたステンレス鋼の箱に収容されます。UV-A石英遠赤外線デュアル波長放射ツールは、効率的かつ再現性のある熱処理を可能にします。窓はランプからの放射エネルギーの最適伝達を可能にします。ユニットは、特定の大気処理を可能にするために、マスフローコントローラアセットと統合することができます。固定分割排気管は、温度勾配を最小限に抑えながらチャンバー内の均質な熱状態を保証します。AMAT Centura AP Ultima Xは、軽量リソグラフィやアニーリングやドーピングなどの用途に最適な低圧、低温RTPリアクターです。それは優秀なステンレス鋼の設計、例外的な温度調整および正確さ、統合された真空モデルおよび大気制御および均質な熱循環を保障する割れ目エキゾーストを提供します。この原子炉は、ほとんどの半導体プロセスで再現性と信頼性の高い処理結果を保証することができます。