中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9149535 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima Xは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。これは、高度なII-VIおよびIII-V半導体フィルムの迅速で信頼性の高い再現可能な製造に高度な性能を提供します。Ultima Xは、高純度、高応力、低欠陥のフィルムを製造することができ、最も困難なデバイス製造要件にも対応します。Ultima Xリアクターは、壁のない（自己アニーリング）PECVDチャンバーと伝統的な煙道シャワーヘッドシャワーヘッドを備えており、低温の非均一性を持つ幅広いコンフォーマルフィルムの成長を可能にします。さらに、シャワーヘッド内のプロセスガスの可変圧力と温度制御を提供します。電源装置は、シャワーヘッドへのRF電力の線形調整、および200MHzまでの幅広いプラズマ周波数オプションを提供します。これにより、優れた塗りつぶし係数とクリティカル寸法の均一性が可能になります。Ultima Xは、高速ランプアップとランプダウン速度を備えた高度な加熱ゾーン技術も備えています。これにより、ストレスを軽減し、最終的なフィルム特性を制御しながら汚染を防ぎます。原子炉の高度な石英シャワーヘッドと基板ホルダーは、高温の均一性と優れたフィルム特性を保証します。高温均等性は優秀な物質的な移動の反復性を保障し、従来のシャワー・ヘッドの設計よりよいステップ適用範囲を提供します。AMAT Centura AP Ultima Xの耐久性のある石英組成は、困難で温度に敏感な堆積物に適しています。Ultima Xは歩留まりとスループットを向上させるために設計されています。標準および非標準のプロセスレシピを提供することができます。統合された制御システムは、リアルタイムでプロセスを更新し、デバイスの迅速な最適化を可能にします。ウェーハ温度、チャンバー圧力、RFソース、ガス流量などのパラメータは、条件を監視し、自動的に制御されます。アプライドマテリアルズCentura AP Ultima Xリアクターは、高性能な電子部品の試作、開発、大量生産に最適です。その高度な性能により、ユーザーはより優れた製品を迅速に開発、テスト、および反復することができます。その最適化された設計と高温の均一性は、再現性と信頼性の高い結果を保証します。