中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler #293637141 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enablerは、さまざまなウェーハ製造プロセスにおける半導体の製造用に設計された先進的な原子炉です。この原子炉は、高いスループット、低圧、優れた温度均一性を兼ね備えており、デバイスの最高収率を実現しています。これは、低と大量の生産プロセスの両方に理想的なツールです。AMAT Centura AP Enablerは、-90°〜+750°Cの温度範囲で革新的な原子炉室設計を採用しています。これにより、耐食性が向上し、ガス流量が増加し、チャンバーの均一性が向上しました。また、低い放射率のライニングを備えており、温度の均一性を維持し、酸化を防ぎます。原子炉室はまた、無線周波数、パルス加熱および放射加熱ゾーンによって加熱され、チャンバー全体で効率的かつ加熱されます。APイネーブラはトリプルレベルデザインを備えています。これには、スペースの制約、圧力の完全な制御、温度とフロー制御が含まれ、レシピの一貫性の向上、ワークフローの改善、効率的な拡張性が含まれます。APPLIED MATERIALS Centura AP Enablerは、ウェーハハンドリングのバリアレス設計により、ウェーハローディング/アンロードを迅速かつ効率的に行い、スループット時間を短縮します。この原子炉はガスの分配と貯蔵システム技術を利用しており、完全なプロセスの柔軟性と制御、および積み下ろしとアンロードのためのさまざまな独立したアクセスポートを可能にしています。これにより、最も効率的なプロセスエンジニアリングが可能になります。また、真空分裂、酸化、拡散、低温化学蒸着など、複数の基板処理ソリューションを提供しています。Centura AP Enablerは、さまざまなセンサーで統合されたプロセス制御と監視を提供し、オンラインプロセス監視とリアルタイムのプロセス制御の両方を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enablerは、簡素化されたオペレータインターフェイスと自動化された操作でも設計されています。これらの機能により、高品質で高収率の半導体製品を製造するための理想的なツールとなります。