中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CT #9371704 を販売中
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販売された
ID: 9371704
ウェーハサイズ: 12"
Dielectric etcher, 12"
Process: Cu
Wafer type: Notch
Carrier: FOUP
(3) Load ports
(4) Chambers
TDK Corrosion resistant loader module
Alcatel IPUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Facility plate:
N2 Regulator
Manual valve
Pressure gauge
Loadlock pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
Transfer pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
5 SLM N2 MFC
Signal towers:
Kit
4 Lights
Devicenet light tower
Cable:
Monitor cable, 15 feet / 50 feet
Pump cable, 75 feet
Monitors:
Monitor 1: Flat panel with keyboard
Monitor 2: Remote flat panel
Chamber configuration:
Process kits: Qt / Si
Gas inject: 3.5 Anodized SGD
Chamber O-Ring: Chamraz 513
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1600M Turbo pump
RF Match: DAIHEN
RF Generator: ENI GHW 50
EPD Windows: Quick remove released quartz
CM Test port: 1/2 VCR and KF25 Dual
RGA Port: RGA port
Endpoint type: H.O.T Endpoint
Endpoint wavelength 1: CO 484 NM
Endpoint wavelength 2: CN 387 NM
Cathode temperature monitor
ESC Power supply: CT HV
RF Feed: Direct CT Cathode
Dry pump: EABARA-ESR80WN
Wall chiller: SMC-H2010
Cathode chiller: SMC-INR 496-003D
Coolant: HT110
ESC type: ESC, Assembly, 12" , Dual electrode, IA
Liner: CT Liner
Process gas box configuration:
Chamber A:
Gas name / MFC Type size
NF3 / FC-PN980CR1BA-100
CH3F / FC-PN980CR1BA-50
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber B:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
C4F8 / FC-PN980CR1BA-50
CO / FC-PN980CR1BA-500
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber C:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500
Chamber D:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CTはフォトレジスト処理用に設計された特殊な原子炉です。この超高速熱処理炉は、エッチングサイクルの高速化、正確な温度制御、および正確な熱測定の恩恵を受けるように設計された高度なツールです。AMAT Centura AP eMax CTの水道水冷装置は、ケミカルエッチングチャンバー内の熱拡散を最小限に抑え、エッチング時のウェハ温度を高精度に制御します。高度なクローズドループ・フィードバック制御システムの助けを借りて、ユーザーは、規定どおりに均一な温度とプロセス期間を維持することができます。これにより、ウェーハが予期しない温度の変動にさらされないようにし、加工している敏感な材料に熱的損傷を与える可能性があります。APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CTには、有害なガス排出を低減し、望ましくない副産物の生成を最小限に抑える高度なパルスエキシマーソースも装備されています。この機能は、エッチング処理が一貫しており、予測可能であることを保証するのに役立ちます。このソースには、片方向のエアフローと迅速なウェハ転送ユニットがあり、粒子数を最小限に抑え、クリーニングに関連するダウンタイムを減らすことができます。Centura AP eMax CTは、高度な技術力に加えて、最高の安全基準を満たすように設計されています。堅牢な安全監視装置は、エッチングプロセスを継続的に監視し、危険な漏れの有無を検出することができます。これにより、原子炉は安全かつ確実に機能することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CTは、エッチングサイクルの信頼性の高い高精度制御をユーザーに提供する高度なエッチング炉です。その強力な機能は、熱拡散を最小限に抑え、ガス排出量と粒子数を削減するのに役立ちます。その安全監視ツールは、エッチングが継続的に監視されることを保証し、ユーザーは信頼性が高く安全で効率的なフォトレジストエッチングソリューションを利用することができます。
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