中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9392539 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II (Advanced Plasma Downstream Equipment)は、太陽電池、OLEDディスプレイ材料、その他の薄膜製品の大量生産用に設計された原子炉です。この原子炉は、高度なプラズマ蒸着技術と簡素化された化学蒸着プロセスを組み合わせ、プロセスの堅牢性と制御を向上させます。このシステムは、さまざまなプロセスで再現可能な結果を提供する能力と、メンテナンスコストが低いことが特徴です。AMAT Centura AP DPS IIリアクターは、アモルファスシリコン(a-Si)パッシベーション層、浅いトレンチ分離層、化学蒸着(CVD)酸化層など、さまざまな薄膜蒸着プロセスに使用できます。このユニットは、これらのプロセスにおける蒸着速度、温度、厚さを信頼性の高い正確な制御により、ユーザーは正確な制御と再現性を備えた高品質の薄膜を生産することができます。このアーキテクチャはまた、酸化および不動態化プロセスと誘電エッチングプロセスを容易にします。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS IIリアクターは、プロセスチャンバー、プラズマ作成用の高電圧発電機、RFプラズマ作成用のRF電源、化学蒸着用のMESA電源で構成されています。プロセスチャンバーは、大量の生産環境を提供するように設計されており、大量のプロセスチャンバーが高密度の薄膜堆積物を生産するための優れた環境を作り出しています。また、このマシンは優れたウェーハ操作機能を備えており、ユーザーはプロセスチャンバ内のウェーハ位置を変更してさまざまなプロセスをサポートすることができます。リアクターには、蒸着プロセスの終了を制御するためのリアルタイムのエンドポイント検出ツールと、プロセスの再現性を監視および維持するためのさまざまなプロセス監視およびデータロギングオプションが装備されています。さらに、アセットはさまざまなプロセスパラメータをサポートしているため、ユーザーは特定のアプリケーションに応じてプロセスをカスタマイズできます。最後に、このモデルは柔軟なスケーリングパスで設計されており、ユーザーは新しい機器に大きな投資をせずに生産をスケールアップすることができます。Centura AP DPS IIリアクターは、太陽電池、OLEDディスプレイ材料、その他の薄膜製品の大量生産に最適です。信頼性と正確なプロセス制御により、ユーザーは再現性を備えた高品質な結果を得ることができ、この装置は商業規模のアプリケーションに最適です。さらに、システムは低メンテナンスコストを提供し、これは多くの商用アプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションとなります。
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