中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5 #9252301 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5
ID: 9252301
Metal etchers.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5リアクターは、先進的なエレクトロニクス製造の標準を設定する次世代の加工装置です。この汎用性の高いプロセスツールは、1ウェハにつき最大28個の能力を持つシングルウェーハ処理を可能にし、4「から8」までのさまざまな基板に対応できます。これは、直感的なコントロールとプロセスツールや情報への容易なアクセスで、任意のスキルレベルのオペレータによって簡単に操作するために設計されています。AMAT CENTURA AP ADVANTEDGE G5リアクターはダイレクトドライブスピンドルモーターを備えており、プロセス炉の基板の正確な位置決めとアライメントを実現します。独自の設計により、ウェーハ全体に均一な温度を作り出し、プロセスの均一性とスループットの向上を実現します。プロセス原子炉は、処理中の基板の温度を制御するための2つの温度ゾーンを備えた統合エンクロージャによって保護されています。高度な冷却システムにより、異なるプロセス工程の独立した流路で信頼性の高いプロセス冷却と温度安定性が保証されます。このユニットは、プロセスチャンバーの汚染を防ぐために、マルチチャンバーのロードロックと低真空のベークアウトも備えています。応用材料CENTURA AP ADVANTEDGE G5リアクターには、高度なプロセス制御アルゴリズムと精密プロセスセンサーが組み込まれています。これにより、妥協のない精度でプロセス制御と結果が達成されます。このマシンには、プログラム可能な超高速制御信号が含まれており、歪みを排除して反復可能な性能を確保し、工程ベースラインへの偏差を監視するための統合ツール診断が含まれています。CENTURA AP ADVANTEDGE G5リアクターは、CMOSイメージセンサー用の高度な異種薄膜プロセスなど、業界をリードするプロセス機能を提供します。高度な蒸着とエッチングプロセスの統合により、生産歩留まりが保証され、迅速なプロセスチューニングが可能になります。その堅牢なRF電源供給機能により、可変周波数発電機とRFマッチングネットワークが統合されているため、プロセスの汎用性が向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5リアクターは、高度なエレクトロニクス製造の標準を設定する堅牢で信頼性の高いプロセスツールです。高度な機能、直感的な制御、正確なプロセス制御アルゴリズムにより、高性能プロセス機器を必要とするお客様に最適です。
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