中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #9314859 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACPは、半導体製造に使用される強力で信頼性の高い原子炉です。ACPリアクターは、さまざまな集積回路用の材料を堆積、エッチング、および処理するように設計されています。そのハードウェア機能は次のとおりです。1)広範なウェハサイズ範囲:ACPは、標準室温から高温プロセスまでの温度で複数のウェハサイズに対応できます。2)精密な温度調整:ACPにすべてのプロセスの精密な温度調整を保障する閉鎖したループ制御装置があります;3)高い反復性:ACPの均一な流れの発電機10は沈殿およびエッチングプロセスの高い反復性を保障します;4)精密なプロセスガス配達:ACPは4シグマまでの口径測定の正確さと複数のガスを正確に同時に渡すことができます;5)エンドポイント監視:ACPには、光学的または他の方法でエンドポイント条件を監視する機能が含まれています。6)プロセス監視:ACPはリアルタイムでプロセスを正確に監視するために漏出チェックセンサーおよび高度プロセス監視システム(PMS)が装備されています;7)高度の安全連結の単位:ACPはプロセスを安全および有効保つ最先端の安全連結機械と設計されています;8)自動基質のローディング/荷を下すこと:ACPに基質およびカセットのローディング、荷を下すことおよび交換を非常に有効にする自動カセットのローディング用具があります;9)区域区分された資源:ACPは処理条件を最大限に活用するためにプラズマ、温度、または圧力のための区域区分された資源を割り当てることができます;10)速い周期:AMAT Centura ACPは速い処理周期の高いスループットを提供するように設計されています。要約すると、APPLIED MATERIALTS Centura ACPリアクターは、半導体製造のための材料の堆積、エッチング、および処理に使用される高度で信頼性の高い機器です。そのハードウェア機能と安全インターロック資産は、多くのアプリケーションで使用できる信頼性の高い堅牢な原子炉です。
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