中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #293704588 を販売中

ID: 293704588
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
EPI System, 12" (2) Chambers EFEM Factory interface (2) TDK Load ports YASKAWA Robot Wafer aligner ACM MF with batch L/L FES FIS RTS (2) Gas pallets (2) Batch load locks (2) Cooling stations VHP Robot Single arm Facility tray Upper frame Cooling module Gas panel remote with controller Chamber AC Rack UI Touch screen Stand H2/N2 Pallet Cover Door Water box Miscellaneous parts Process kits Chamber A: HORIBA Z500 Mass Flow Controller (MFC) Gases / Flow H2 / 100 SLM H2 / 30 SLM HCL / 500 SCCM PH3 / 500 SCCM HCL / 20 SLM DCS / 500 SCCM Chamber C: UNIT INSTRUMENTS Mass Flow Controller (MFC) Gases / Flow H2 / 100 SLM H2 / 30 SLM HCL / 500 SCCM PH3 / 500 SCCM HCL / 20 SLM DCS / 500 SCCM 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACPは、高度な材料およびデバイス構造の処理のためにAMATによって設計された、高スループット、自動化された原子炉装置です。このシステムは、研究者や科学者がプロセスパラメータを迅速に実験し、新しい材料を作成して精製し、複雑な生産プロセスでより高い収率を達成できるように設計されています。このユニットは、統合されたコンポーネントとプロセス、プロセスロボティクスコア、および業界をリードする基板、先端材料、およびデバイス構造の開発を可能にするインテリジェントオートメーションを備えています。AMAT Centura ACP原子炉機械は、pRobotと呼ばれるユニークで革新的なプロセスロボットコアを搭載しています。このコアは、ツールのプロセスと操作の効果的で信頼性の高い自動化を提供する責任があります。pRobotには電子制御ロボットアームのネットワークがあり、ユーザーはさまざまな資産パラメータとプロセスをリモートで監視、管理、制御できます。このコアは、モデルが確実かつ一貫して動作するようにし、ユーザーが必要に応じてプロセス・スキームを簡単かつ迅速に再構成または変更できるようにします。APPLIED MATERIALTS Centura ACP装置は、高度なツール監視、自動化、基板追跡機能も備えています。これらの高度な機能により、基板の損傷を最小限に抑え、サイクルタイムを最適化し、トータルコストを削減し、製品構造の正確で信頼性の高い製造を保証します。さらに、このシステムは遠隔で監視および運用されるように設計されており、オペレータがユニットの現在の状態と性能について簡単に知ることができます。このリアルタイムモニタリングにより、オペレータはプロセス条件の変化に迅速に対応し、プロセス収率を最大化することができます。Centura ACPリアクタマシンは、さまざまなプロセス最適化ツールを使用して、ユーザーに高い柔軟性を提供します。これらのツールには、基板準備用のソフトウェアツール、サーマルマッピング、定額スケジューリング、最適化されたプロセス管理などが含まれます。さらに、このツールはサイクルレシピ、フィニッシュラインの記録、最適化レポートなどのツールを備えています。これらの高度なツールは、アセットが自動化のために最適化されていることを保証し、ユーザーがさまざまな基板を迅速かつ正確に処理し、高度な製造ニーズを満たすことを可能にします。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACPリアクタモデルは、高度な基板、材料、およびデバイス構造の作成と開発を支援する高度で効率的なツールです。高い歩留まり、一貫したパフォーマンス、信頼性の高いオートメーションを保証するように設計されています。さらに、機器の高度なツールとユーティリティは、ユーザーがプロセスを迅速かつ簡単に開発および精製するのに役立ちます。このシステムは、さまざまな研究および生産アプリケーションに最適です。
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