中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9402491 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、半導体製造業界で使用される最先端の蒸着反応チャンバーです。これは、ウェーハ上に薄膜金属または誘電体の層を作成する真空ベースのスパッタリング、化学蒸着および熱酸化の機能を提供します。AMAT Centura 5200は、最大動作温度1,000°Cの24インチシングルウェーハプロセスチャンバーを備えています。2つの独立制御スパッタ源を備えており、ウェーハ上に材料を均一に堆積させることができます。また、スパッタリングや酸化などの熱プロセスに使用できる2つのRF電源も含まれています。APPLIED MATERIALS Centura 5200は、自動化されたプロセス制御に加えて、統合されたプロセス制御装置を備えており、ウェーハコーティングの精度を保証するために即座にフィードバックを提供します。このシステムにより、ユーザーはリアルタイムのプロセスデータを表示し、必要に応じて堆積パラメータを変更することができます。このチャンバーには、精密計量機能を備えたガス供給ユニットと、さまざまなプロセスを正確に制御できる一連のバルブも備えています。Centura 5200は、高圧封じ込め機などの多くの安全機能を備えて設計されており、危険物質の潜在的な放出から環境と人員を保護します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、大量生産および研究アプリケーションに最適な機械です。長寿命化と精密なプロセス整合性により、最高品質の薄膜を最もコスト効率の高い方法で作成するのに適しています。堆積方法、精密なプロセス制御、安全機能のユニークな組み合わせにより、デバイス開発者やメーカーの間で最先端の選択肢となっています。