中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9261088 を販売中
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ID: 9261088
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
CVD System, 8"
Process: HPTEOS
(2) Loadlocks
Robot assembly
(3) CVD Deposition chambers
Chamber type: DxZ
Includes:
(5) EBARA Pumps
System controller
AA20 Loadlock pump
AA40W Pump
AA70W Pump
AA20 Buffer pump
ADCS TEOS Cabinet
TEOS Canister size: (5) Gallons
Process tank pressure (Liquid Cabinet), TEOS: 35
AMAT 1 Heat exchanger
Heat exchanger temperature: 65°C
Mainframe:
OTF
HP End Enduro Robot
VEXTA Stepper motor, 5-Phase
Process chamber:
(3) ADVANCED ENERGY RFG 2000-2V RF 1 Generators
(3) ADVANCED ENERGY PDX 900-2V RF 2 Generators
(5) ADVANCED ENERGY 3155094-003A RF Matches
MKS 122BA-0100EB-S Pressure manometer, 100 torr
Pressure control: Throttle valve
0040-32148 Heater
Process temperature: 400°C
MFC Gases:
N2: 3 slm
O2: 50 sccm
NF3: 500 sccm
C2F6: 500 and 1000 sccm
O2: 2 slm
He: 1 and 2 slm
LFM: STEC, TEOS 1.5 g/min
0500-01047 Endpoint
3870-04383 Injector valve
IV Line temperature, TEOS: 100
Gasline temperature: 100
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、高度なパッケージ化されたデバイス生産用に設計された高性能の半導体ウェーハ製造炉です。この原子炉は、APMの特許取得済みのプラズマ強化化学蒸着(PECVD)技術に基づいて構築されています。AMAT Centura 5200は、PECVD技術を活用した先進的な半導体ウェーハ製造炉です。5200モデルは、欠陥を最小限に抑えて高品質のチップを製造する効果的な手段を提供します。この原子炉は、金属および誘電体の堆積、エッチング、およびポストプロセス処理が可能です。PECVDは、高精度のプロセス再現性、酸化物応力および膜厚の制御性の向上、および静電気による損傷に対する耐性の向上を提供します。これにより、APPLIED MATERIALTS Centura 5200で製造されたチップは、卓越した信頼性で高収量の動作を実現します。Centura 5200は、直径2インチから12インチまでのウェーハを処理できます。この原子炉には、高度なモーションコントロールシステムと、最高の生産精度と再現性を実現する高度な熱制御およびマテリアルハンドリングシステムが装備されています。この原子炉は、最高レベルの生産精度を確保するために、2つのリアクタントガスミキサーと自動ガスフロー制御を備えています。これらの機能により、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200で製造されるチップの品質を向上させることができます。AMAT Centura 5200は、精密プロセス制御、迅速な硬化、優れた接着、歩留まりの向上、粒子生成の減少など、幅広い機能を提供します。これにより、より良い品質のチップを低コストで生産することができます。また、原子炉の高度な技術により、製造メーカーは新しい費用対効果の高いプロセスを探索することができます。APPLIED MATERIALS Centura 5200には、システムの問題を検出し、トラブルシューティングを可能にする診断システムが搭載されています。工場サポートチームは、システムのサポートを必要とする顧客に支援を提供することができます。Centura 5200リアクターは、あらゆる半導体生産の課題に対して強力で効率的なソリューションを提供します。高度なPECVD技術で構築された原子炉は、高性能で信頼性の高いチップ生産を提供します。これにより、歩留まりの向上、優れたチップ品質、および生産コストの削減が可能になります。また、先進的なモーションコントロール、熱制御、マテリアルハンドリングシステム、自動ガスフロー制御など、幅広い機能を備えています。その柔軟な設計により、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura 5200はあらゆる半導体製造ラインに理想的なコンパニオンとなります。
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