中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9253559 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200リアクターは、酸化物、窒化物、およびその他の材料のための高度なプロセスチャンバーです。この原子炉は主に半導体および高度の包装装置の製作のために使用され、これらの分野のための最も普及した、多目的な原子炉の1つです。多目的機能を備え、優れた生産歩留まりを実現する高度な機能を提供します。AMAT Centura 5200リアクターは、2。5〜16立方フィートの最大処理チャンバ容量と0。1 mTorr以上の圧力定格を備えた、柔軟性の高い高度なプロセスチャンバーです。プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、大気および低圧化学蒸着（APCVDおよびLPCVD）、高温および低温アニール、急速熱処理（RTP）など、さまざまなプロセス機能を備えています。プロセス基板の熱応力を低減する特許出願中の「Cool Edge」機能と、基板レベリング精度を向上させるための統合されたデュアルミクロメータ基板レベラーおよび接触システムを備えています。アダプティブチューンアップ自動チャンバ最適化システム、統合されたデュアルマイクロメータ接触システムを備えた精密基板レベラー、デュアルポートポンピングステーション、自己完結型電源、ウルトラフロー技術を備えたガス配送システムなど、包括的な機能と利点を備えています。シングルクリスタルウェーハ、MEMS、 CMOS、 IC、その他の高度なパッケージングデバイスなど、あらゆる半導体デバイスの生産ニーズに対応するように設計されています。APPLIED MATERIALS Centura 5200リアクターのプロセス性能と信頼性の向上により、全体の歩留まりとプロセスの一貫性が向上し、より信頼性の高い製品の生産が可能になります。そのコンパクトなデザインと使いやすさは、研究と生産の両方のアプリケーションに最適です。その信頼性の高い性能と幅広いプロセス能力により、最新の半導体製造環境に最適です。