中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9247619 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、ハードコーティング、太陽電池産業の厳しい生産要件を満たすように設計された高効率で完全に自動化された化学蒸着（CVD）炉です。AMAT Centura 5200はスケーラブルな構成とモジュール構成の両方を提供し、幅広い材料とプロセス・チャンバーの取り扱いを可能にします。水平および垂直の熱均一性レベルを利用して、精密な蒸着プロセスを満たします。高速蒸着と原子炉の安定性の向上により、正確な結果を維持しながらスループットが向上します。高温プロセスチャンバーは、高速ウェーハスループットと正確な蒸着制御を可能にするように設計されています。その高度な物理蒸着ツールセットは、高精度の材料調達、動的ガス制御、カスタムガスフロー設定を提供します。さらに、優れたエンドポイント精度と大きな窒化物処理能力を備えています。APPLIED MATERIALTS Centura 5200は、高度なオートメーション機能とプログラム機能を備え、反復処理結果を生成します。独自のチャンバーアーキテクチャにより、再現性と全体的な性能品質を向上させ、優れた温度均一性を提供します。Centura 5200は、シリコン、酸化アルミニウム、ポリシリコン、および900°Cアプリケーションの温度までの金属および合金の配列などの材料の範囲に適しています。ウエハサイズは4〜8インチまで設定可能で、柔軟性が向上します。AMATのトータルメンテナンスパッケージには、包括的な予防メンテナンス、技術的なITサポート、ソフトウェアアップグレードが含まれます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、長い冷却と加熱サイクルを必要とせずに、高度な材料蒸着に合わせた強力で信頼性の高いCVD炉です。このシステムは、効率を高め、プロセスのパフォーマンスを向上させたいメーカーにとって理想的なソリューションです。