中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9206626 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES Centura 5200は、半導体ウェーハ製造プロセス用に設計された熱処理炉です。この原子炉は、大量のスループット、低い所有コスト、正確なプロセス制御機能を提供します。これは、半導体生産のための安全で効率的な環境を作成するための理想的なプラットフォームを提供します。AMAT Centura 5200は、高度なクアッドコアプロセッサによって駆動され、高度な自動プロセス制御（APC）システムが組み込まれています。APCは、迅速なレシピ開発とレシピ管理のための動的経路を提供します。また、プロセスの継続的なクローズドループ制御を可能にし、歩留まりと製品品質の面で最適なプロセス結果に到達します。アプライドマテリアルズCentura 5200の熱制御には、クアッドフローの均一性システムなどの高度な機能が搭載されています。この高度な機能により、プロセス温度がサセプター全体に均等に分布します。これにより、均一で反復可能なプロセスが保証されます。また、ESC （Electrostatic Chuck）トッププレートを採用しており、加工時にウェーハを固定し、ダイツダイやダイツチャンバーの不均一性を排除します。Centura 5200はまた、薄膜を成長させるための低温、高スループットソリューションを提供するためのPECVDチャンバを備えています。PECVDチャンバーは、AlおよびSiOxフィルムからTaNフィルムおよびポリシリコンフィルムまで、幅広い選択可能なオプションを提供します。チャンバーはまた、薄膜の複数の層の製造など、さまざまな構造や厚さのフィルムを成長させる能力を持っています。AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura 5200は完全な自動生産ラインに統合することができ、中量および大量生産に最適です。この原子炉は4線式制御用に配線されており、Centuraはほとんどのプロセスロボットと統合することができます。高度な真空システムにより、高いスループットを確保し、プロセス時間を最小限に抑え、最適なプロセス結果を達成します。要約すると、AMAT Centura 5200は最先端の熱処理リアクターであり、正確なプロセス制御、高スループット、およびウェーハ製造プロセスのコスト削減を実現します。その高度な機能と統合機能は、中規模および大量生産ラインに最適なソリューションです。