中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9061043 を販売中
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ID: 9061043
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Etcher, 8"
Cassette nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
System information:
Platform type: Centura
(3) Process chambers
SECS / GEM: Yes
Chamber location / Type / Current process:
Position A / MxP / Poly etch
Position B / MxP / Poly etch
Position C / MxP / Poly etch
Position F / Orienter (Laser assy not available)
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
BS He cooling: Yes
He dump line: Yes
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer: Per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max power: 1250w
Lid temp control: PID Control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process manometer: MKS 1Torr
Gas panel:
Manual valve: Yes
Transducer: Yes
Transducer displays: Yes
Regulator: Yes
Filter: Yes
Gas panel facilities hook up: Single line drop bottom feed (Left side)
Exhaust: Top
Gas panel door interlock: Yes
Gas panel exhaust interlock: Yes
Gas panel pallet:
Corrosive gas line: (2) Lines per chamber
Inert gas line: (6) Lines per chamber
MFC type: STEC SEC-7440MC
Gas line (gas name, MFC size)
ChA
Line 1: CL2 / 80 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
ChB
Line 1: CL2 / 83 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
ChC:
Line 1: CL2 / 80 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
Mainframe:
Facilities type: Regulated
Loadlock type: Wide body
Loadlock auto-rotation: Yes
Wafer mapping type: Fast
Wafer mapping sensor: Yes
Cassette present sensor: Yes
Transfer chamber manual lid hoist: Yes
Robot type: HP
Emo button: Front side
Water leak detector: Yes
Signal tower (front): Green, yellow, red
(2) System monitor displays / controller: Front, remote
Remotes:
System controller & AC rack
EMO button: Yes
Smoke detector: Yes
Line frequency and voltage: 50/60Hz, 208VAC, 3ph
Remote UPS interface: Yes
Generator rack
EMO button: Yes
Smoke detector: Yes
Water leak detector: Yes
Heat exchanger type:
For wall: RISSHI CS-400SW-2 (0 - 80°C)
For cathode: RISSHI CS-400SW-2 (0 - 80°C)
Pumps type:
LL Chamber: EBARA A30W
Transfer chamber: EBARA A30W
Ch A: EBARA A30W
Ch B: EBARA A30W
Ch C: EBARA A30W
Gas scrubber: EBARA GTE-3
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、最先端の半導体製造に特化した高性能リアクターです。高度な蒸着技術と統合されたオートメーション機能を組み合わせ、プロセスの柔軟性と制御を最適化します。AMAT Centura 5200は、独自のハイブリッド成膜チャンバー設計により、積極的なプロセス手順を容易にし、低温と高温の両方の反応を可能にします。これにより、交換チャンバに伴うダウンタイムを低減することでスループットを向上させるハイブリッド蒸着方式により、より高速な処理が可能になります。この原子炉は、ユーザーがより高いスループットでより均一で一貫したフィルムを生成することができます。APPLIED MATERIALS Centura 5200には、ユーザーが製品を特定の要件に合わせてカスタマイズできる、さまざまなプロセスとカスタマイズ可能なソフトウェアがあります。ユーザーは、このソフトウェアを使用して堆積レシピとプロセスフローをカスタマイズし、原子炉の機能を必要に応じて最適に調整できます。これにより、プロセスの最適化と信頼性を向上させるために、プロセスをすばやく変更して繰り返します。Centura 5200リアクターは、迅速かつ簡単なサービスとトラブルシューティングを可能にする洗練されたリモート診断システムを備えています。統合されたオートメーション制御と診断システムは、研究開発から生産まで、さまざまなタスクに必要な柔軟性をユーザーに提供します。これらの柔軟な制御により、スループット率を最大化し、プロセスパラメータをリアルタイムで監視することもできます。また、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200リアクターは安全性を念頭に設計されています。これは、原子炉が環境規制に準拠して動作されることを確実にするために、保護ガードやチャンバー・インターロックなど、さまざまな安全および環境保護装置を備えています。AMAT Centura 5200は、幅広い機能を備えた先進的な原子炉であり、市場で最高の高性能原子炉の1つです。その高度な蒸着チャンバー設計、統合されたオートメーション機能、および柔軟な制御により、研究開発から生産まで、さまざまなタスクに最適なソリューションです。
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