中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9004510 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、半導体産業のさまざまな用途に使用される原子炉です。特に、シリコン、ヒ素ガリウム、ポリシリコンなどの材料の高収率、欠陥のない基板を製造するように設計されています。AMAT Centura 5200の主なコンポーネントは、炉、メインチャンバー、プロセスチャンバーです。炉は装置の主要な電源の中心であり、システムの温度を制御するのに使用され、高温または真空を要求するプロセスに必要な力を提供します。メインチャンバーは、基板を加工用に配置するユニットのメインエリアです。また、機械の操作に必要な計装と制御の一部も含まれています。プロセス部屋は主要な部屋内にあり、基質の実際の処理に必要なすべての装置が含まれています。アプライドマテリアルズCentura 5200は、ドーパントインプラントからエピタキシャル成長、フォトレジストストリッピング、エッチングまで、さまざまなプロセスを実行できます。また、原子層成膜（ALD）や化学機械平坦化（CMP）などの高度なプロセスフローにも対応しています。このツールにはレシピの豊富なライブラリがあり、特定のアプリケーションに合わせてレシピをカスタマイズできます。Centura 5200は、高度な制御とテクノロジーを備えた完全に統合された資産です。ユーザーフレンドリーなヒューマンマシンインターフェイス（HMI）を備えており、モデル設定やレシピに簡単にアクセスできます。また、低熱勾配制御と温度安定性の向上により、再現性と精度が向上しています。AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura 5200は、半導体業界の多くの用途に最適で、高収率、欠陥のない基板と高度なプロセスフローを提供します。信頼できる汎用性の高い原子炉システムであり、品質と革新に対するAMATのコミットメントに裏打ちされています。