中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293818639 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、集積回路（IC）の製造において、ウェハの薄型化、エッチング、その他の重要なプロセスに使用される業界をリードする半導体生産炉です。この原子炉は、信頼性と高スループットのために設計されています。それにウェーハのローディングのドックへの容易なアクセスを可能にする縦の炉のレイアウトがあります。原子炉室は耐食性で知られているニッケル系超合金であるHastelloy C-22でできており、優れた信頼性と長寿命を提供します。垂直炉レイアウトはまた最適な均一性を保証し、ノズルの詰まりを減らし、反復可能なプロセス結果を提供します。これは、一貫したプロセス条件を維持する自動ガス制御装置によってさらに強化されています。クローズドループのプロセス制御システムは、正確なリアルタイム監視とウェーハ薄型プロセスの微調整を提供します。AMAT Centura 5200はまた、自動ウェハハンドリングを提供しています。これにより、クリーンゾーン転送と自動ゲージングが組み合わされ、生産性が大幅に向上します。このユニットには、さまざまなプロセス要件を満たすさまざまなオプションが装備されています。オプションには、光放射分光法、統合ヘリウムリーク検出機、オートクリーンツール、自動フィルム蒸着アセットが含まれます。APPLIED MATERIALTS Centura 5200は、半導体業界が製品品質を維持し、再現可能な結果を提供し、生産性を向上させるために不可欠なツールです。その性能と信頼性により、ウェーハの薄型化とエッチング処理のためのファーストチョイスの生産炉となります。