中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #188648 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、半導体チップ製造に使用される高性能で信頼性の高い電子ビーム炉です。このチャンバータイプの原子炉は、迅速なスループット、タイトなプロセス制御パラメータ、最大歩留まり、および厳しい生産サイクルに対応するように特別に設計されています。AMAT Centura 5200は、真空エンクロージャ内に設置されたワンピースエンドビューチャンバーで、電源、加熱素子、圧力計、チャンバードアなどの本体と電気部品をその上に配置しています。ワンピースチャンバーボディはステンレス製で、半導体チップを空気中の粒子や反応種から汚染から保護するために特別に設計されています。APPLIED MATERIALTS Centura 5200のチャンバーには、窒素などの不活性ガスが充填され、最大400°Cの温度に加熱されます。この温度は、ガスの圧力を約1。2 torrに増加させます。その後、気体は電子ビームガンによってチャンバー内で爆発します。チャンバー内の爆発は、半導体チップ上のフィルムや材料の加工、エッチング、沈着に適したプラズマを作り出します。ボイラーは2つの別の要素のアセンブリ、電動の外シリンダーおよび部屋の中のRF分野の配分を制御し、最適の均一性を保障するのを助ける誘電性マニホールドです。内部シリンダーは、プラズマの均一性と一貫したウェーハの均一性を維持するのに役立つ、低い電気損失を保証するセラミックサポートによって所定の位置に保持されています。チャンバー後部の電子ビームガンを使用してプロセスガスを点火し、RFエネルギーをウェーハに印加します。プロセスパラメータを制御するために、Centura 5200はさまざまな電源オプションを提供しており、高い精度と精度を実現しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200リアクターは、プロセスが適切な速度で行われることを確実にするために、1000°C以上のピーク温度をシャープな温度プロファイルで提供することができます。AMAT Centura 5200のプロセスの均一性とウェーハの均一性は、業界で最も高く評価されています。全体として、APPLIED MATERIALTS Centura 5200は高度で高性能で信頼性の高い電子ビームリアクターであり、高い再現性と信頼性を備えた半導体製造を実現し、生産時間を短縮します。これは、最も要求の厳しい半導体生産の要件を引き受けるように設計されており、より高いレベルのプロセス精度とプロセス制御を提供します。