中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #123066 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 （AMAT Centura 5200）は、酸化インジウム（ITO）などの金属酸化物化合物の蒸着用に設計された金属-有機化学蒸着炉（MOCVD）です。この原子炉は、優れたプロセス緯度と均一性を提供するように設計されており、高い視野（FOV）アプリケーションのプロセス再現性と再現性が向上しています。APPLIED MATERIALS Centura 5200は2つの独立した加工チャンバーを採用しています。チャンバーの設計は、完全にバランスの取れたホットウォール設計で作動する酸化アルミニウム上部チャンバーで構成されています。下部のチャンバーはクールウォール設計で動作し、石英壁で構成されています。どちらのチャンバーにも窒素酸化物（N2O）が注入されており、プロセスガスの均質性を循環させ改善します。この原子炉は、酸化インジウムや他の金属酸化物化合物の堆積をサポートする高度なソース構成を備えています。ガス源には、リンデ極低温源、IBHおよびNovellus Gas Control Panel （GCP）がある。すべてのソースには、独自のMontelliソフトウェアのおかげで優れたレシピの一貫性を備えた非常に均一な堆積物を生成する予熱バルブシステムとニードルバルブシステムが装備されています。Centura 5200には、非破壊的なin-situ光学エンドポイント検出用のデュアルビューポートと、原子炉内のすべてのガス成分を正確に制御するガス制御、および特定の材料や用途向けのカスタム蒸着パラメータも搭載されています。このシステムは、2つのウェーハを同時に処理できる単一のツールで、高スループットのために設計されています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、低圧低温動作モードを備えており、成膜均一性を向上させています。この原子炉はまた、高温ポストアニール機能を備えており、フィルムの微細構造と厚さを正確に制御することができます。全体として、AMAT Centura 5200は、複数の基板上に均一で精密な酸化物蒸着を提供する高度なMOCVDリアクタシステムです。その直感的で柔軟なプラットフォームは、金属酸化物化合物の精密な堆積のための顕著な柔軟性と制御を提供し、それは高いFOVアプリケーションのための理想的な選択肢となります。