中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZリアクターは、プロセスエンジニアが大量の高度なパッケージング作業で最適な製造結果を達成できるように設計された高性能機器です。このマルチステーションプラットフォームは、高温制御、プロセスガスの自動化、完全なクローズドループ制御、および急速なチャンバーの回転など、幅広い機能を備えています。このシステムは、3D NAND、ナノワイヤメモリ、MEMS、 MEMSパッケージ、RF/millimeterwave製品など、さまざまなアプリケーション向けの包括的なプロセス開発、生産、および特性評価ソリューションに統合されています。AMAT Centura 5200 WxZリアクタは、完全にカスタマイズ可能で拡張可能なワークステーション設計を備えているため、エンジニアは顧客の要求のシフトや技術ニーズの変化に合わせて作業を定期的にスケールアップまたはダウンさせることができます。この柔軟性により、最大5つのウエハサイズを作成でき、プロセス工程間の迅速な転送が容易になります。また、世界最小の温度制御ゾーンを誇り、最適な温度精度と重要なプロセスに対する厳しい温度制御を可能にします。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZは、オペレータのプロンプトと視覚的なプロンプトをユニットの動作時に提供することにより、プロセスエンジニアの効率を最大化するように設計された次世代の制御インタフェースも備えています。パワフルなハイレベルコントローラと直感的なタッチスクリーンは、リアルタイムデータのフィードバックを備えた完全な車両、ウェーハ、およびツールレベルの制御を提供し、生産シナリオの変更やプロセス改善の実装への迅速な反応を可能にします。この原子炉には、プロセスレシピのキャプチャと保存、プロセスランプレートの測定、データアーカイブのトレースもあります。このマシンはまた、プロセスエンジニアがガスの流れをカスタマイズして自動化できるユーザーフレンドリーなガス供給モジュールを提供しており、オペレーションの再現性と精度を向上させます。自動化された圧力制御により、安定したガスの流れを維持し、迅速な処理スループットと均一性を実現します。最後に、Centura 5200 WxZリアクタは高度なプロセス最適化機能を提供し、プロセスエンジニアは複数のプロセス最適化曲線にアクセスして温度精度と一貫性を確保できます。このツールには、高速ダイツダイおよびサブダイ処理のための組み込みバッチホイスト技術と、フィールドレベルの特性評価のための完全に自動化された計測ステーションも含まれています。